TGV Gilasi sobsitireti 12inch wafer Gilasi punching

Apejuwe kukuru:

Awọn sobusitireti gilasi ni oju didan ju awọn sobusitireti ṣiṣu, ati pe nọmba ti vias tobi pupọ ni agbegbe kanna ju awọn ohun elo Organic lọ. O sọ pe aaye laarin awọn iho inu awọn ohun kohun gilasi le jẹ kere ju 100 microns, eyiti o taara pọ si iwuwo interconnect laarin awọn wafers nipasẹ ipin kan ti 10. Awọn iwuwo interconnect pọ si le gba nọmba ti o tobi julọ ti awọn transistors, gbigba fun eka diẹ sii. awọn aṣa ati lilo daradara siwaju sii ti aaye.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

Awọn sobusitireti gilasi ṣe dara julọ ni awọn ofin ti awọn ohun-ini gbona, iduroṣinṣin ti ara, ati pe o ni itosi ooru diẹ sii ati pe o kere si ijagun tabi awọn iṣoro abuku nitori awọn iwọn otutu giga;

Ni afikun, awọn ohun-ini itanna alailẹgbẹ ti mojuto gilasi gba laaye fun awọn adanu dielectric kekere, gbigba ifihan agbara ti o han gbangba ati gbigbe agbara. Bi abajade, ipadanu agbara lakoko gbigbe ifihan agbara dinku ati ṣiṣe gbogbogbo ti ërún ti ni igbega nipa ti ara. Awọn sisanra ti sobusitireti mojuto gilasi le dinku nipasẹ idaji ni akawe si ṣiṣu ABF, ati tinrin ṣe ilọsiwaju iyara gbigbe ifihan ati ṣiṣe agbara.

Iho lara ọna ẹrọ ti TGV:

Lesa induced etching ọna ti wa ni lo lati jeki lemọlemọfún denaturation agbegbe aago nipasẹ pulsed lesa, ati ki o lesa mu gilasi ti wa ni fi sinu hydrofluoric acid ojutu fun etching. Oṣuwọn etching ti gilasi agbegbe denaturation ni hydrofluoric acid yiyara ju ti gilasi ti a ko ni igbẹ lati dagba nipasẹ awọn ihò.

TGV kun:

Ni akọkọ, awọn iho afọju TGV ni a ṣe. Ẹlẹẹkeji, awọn irugbin Layer ti a nile sinu TGV afọju iho nipa ti ara oru iwadi (PVD). Ni ẹkẹta, isale-soke electroplating ṣe aṣeyọri kikun ti TGV; Lakotan, nipasẹ isunmọ igba diẹ, lilọ ẹhin, didan didan ti kemikali kemikali (CMP) ifihan bàbà, unbonding, ṣe agbekalẹ awo gbigbe TGV ti o kun fun irin.