Ipele Afẹfẹ SiC Ultra-Precision

Àpèjúwe Kúkúrú:

Pẹ̀lú ìdàgbàsókè tí ilé iṣẹ́ semiconductor ń ṣe nígbà gbogbo, iṣẹ́ ṣíṣe àti àyẹ̀wò àwọn ohun èlò ń béèrè fún iṣẹ́ gíga jùlọ. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó jinlẹ̀ nínú ìṣàkóso ìṣíṣẹ́ àti ipò ipele nanometer, a ti ṣe àgbékalẹ̀ ìpele afẹ́fẹ́ onípele méjì tí a fi planar H-type ṣe.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwòrán Àlàyé

Àkótán Àkótán

A ṣe é pẹ̀lú ìrísí seramiki silicon carbide (SiC) tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ pẹ̀lú ìrísí seramiki tí a finite-element-optimized silicon carbide (SiC) àti ìmọ̀ ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ tí a san owó rẹ̀, ìpele náà ń fúnni ní ìṣedéédé tó tayọ, ìdúróṣinṣin, àti ìdáhùn tó lágbára. Ó yẹ fún:

Ṣíṣe àyẹ̀wò àti ṣíṣe àyẹ̀wò semiconductor
Iṣẹ́ ọnà àti ìṣẹ̀dá micro/nano àti metrology
Gígé àti dídán ìpele-nánómẹ́tà
Ṣiṣe ayẹwo deede iyara giga

Àwọn Ohun Pàtàkì

Itọsọna afẹfẹ SiCfun gíga gíga ati konge
Awọn agbara gigaiyára tó 1 m/s, iyára tó 4 g, ìdúró kíákíá
Apá Y-axis, awakọ̀ méjìṣe idaniloju agbara fifuye giga ati iduroṣinṣin
Àwọn àṣàyàn enkod: àwọ̀n opitika tabi interferometer lesa
Ìpéye ipò: ±0.15 μm;atunṣe: ±75 nm
Ṣíṣe àtúnṣe ipa ọ̀nà okùnfun apẹrẹ mimọ ati igbẹkẹle igba pipẹ
Àwọn ètò tí a lè ṣe àtúnṣefún àwọn àìní pàtó kan fún ohun èlò

Apẹrẹ Ultra-Precision & Drive Direct, Architecture ti kii ṣe olubasọrọ

Férémù seramiki SiC: ~5× líle ti alloy aluminiomu ati ~5× imugboroosi ooru ti o kere si, ti o rii daju pe o ni iduroṣinṣin iyara giga ati agbara ooru.
Afẹ́fẹ́ tí a san owó rẹ̀: Apẹrẹ ti ara ẹni mu ki lile, agbara fifuye, ati iduroṣinṣin išipopada pọ si.
Iṣẹ́ Ìyípadà: Ṣe atilẹyin fun iyara 1 m/s ati iyara 4 g, o dara julọ fun awọn ilana iṣelọpọ giga.
Ìṣọ̀kan Láìláìláìláìláìní: Ni ibamu pẹlu awọn eto iyasọtọ gbigbọn, awọn ipele iyipo, awọn modulu tilt, ati awọn iru ẹrọ mimu wafer.
Ìṣàkóso Okùn: radius títẹ̀ tí a ṣàkóso dín wahala kù fún ìgbà pípẹ́ iṣẹ́.

Moto laini Coreless: Ìṣípò tí ó rọrùn pẹ̀lú agbára ìdènà tí kò ní agbára kankan.
Wakọ Ọpọ-Moto: Ipò ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ tí a fi ẹrù gbé ń mú kí ìtọ́sọ́nà, fífẹ̀, àti ìpele ìgun sunwọ̀n síi.
Ìyàsọ́tọ̀ Ooru: A ya àwọn mọ́tò sọ́tọ̀ kúrò nínú ìṣètò ìpele; afẹ́fẹ́ tàbí omi ìtútù àṣàyàn fún àwọn gígun tí ó lágbára.

Àwọn ìlànà pàtó

Àwòṣe	400-400	500-500	600-600
Àwọn àáké	X (àwòrán) / Y (ìgbésẹ̀)	X (àwòrán) / Y (ìgbésẹ̀)	X (àwòrán) / Y (ìgbésẹ̀)
Ìrìnàjò (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Ìpéye (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Àtúnṣe (nm)	±75	±100	±100
Ìpinnu (nm)	0.3	0.3	0.3
Iyara to pọ julọ (m/s)	1	1	1
Ìyárasí (g)	4	4	4
Ìtọ́sọ́nà (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Iduroṣinṣin (nm)	±5	±5	±5
Ẹrù Tó Púpọ̀ Jùlọ (kg)	20	20	20
Pọ́ọ̀tì/Yípo/Yáw (arc-sec)	±1	±1	±1

Awọn Ipo Idanwo:

Ipese afẹfẹ: mimọ, gbẹ; aaye ìrí ≤ 0°F; àlẹ̀mọ́ pàǹtíkì ≤ 0.25 μm; tabi 99.99% nitrogen.
A wọn irẹwọn 25 mm loke aarin ipele ni 20±1 °C, 40–60% RH.

Àwọn ohun èlò ìlò

Lithography Semiconductor, ayewo, ati mimu wafer
Iṣẹ́dá Micro/nano àti ìlànà ìṣedéédéé
Iṣẹ́-ẹ̀rọ opitiki giga ati interferometry
Aerospace àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì tó ti ní ìlọsíwájú

Awọn ibeere ti a beere nigbagbogbo - Ipele Afẹfẹ Silikoni Carbide

1. Kí ni ìpele tí afẹ́fẹ́ ń gbé?

Ipele ti o ni afẹfẹ nlo fiimu tinrin ti afẹfẹ ti a fi titẹ si laarin ipele ati ọna itọsọna lati peseišipopada ti ko ni wahala, ti ko wọ, ati ti o dan pupọLáìdàbí àwọn bearings onímọ̀ ẹ̀rọ ìbílẹ̀, ó mú kí slip-slip kúrò, ó ń ṣe déédé ipele nanometer, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́.

2. Kí ló dé tí a fi ń lo silicon carbide (SiC) fún ìṣètò ìpele náà?

Agbara giga: ~5× ti alloy aluminiomu, èyí tí ó dín ìyípadà kù nígbà ìṣípo onígbòòrò.
Ifaagun ooru kekere: ~5× kere ju aluminiomu lọ, ti o n ṣetọju deedee labẹ awọn iyipada otutu.
Fẹlẹfẹẹ: Iwọn kekere ni akawe si irin, eyi ti o mu ki iṣiṣẹ iyara giga ati iyara giga ṣiṣẹ.
Iduroṣinṣin to dara julọ: Dida ati rigidi to ga julọ fun ipo ti o peye pupọ.

3. Ṣé ìpele náà nílò ìpara tàbí ìtọ́jú?

A ko nilo epo ibile nitori pe o wako si olubasọrọ ẹrọ. Ìtọ́jú tí a gbani nímọ̀ràn ní:

Ipeseafẹ́fẹ́ tí a fi sínú omi tàbí nitrogen tó mọ́, gbẹ
Ayẹwo lẹẹkọọkan ti awọn àlẹ̀mọ́ ati awọn gbigbẹ
Awọn kebulu abojuto ati awọn eto itutu agbaiye

4. Kí ni àwọn ohun tí a nílò láti fi pèsè afẹ́fẹ́?

Oju iwọn ìrísí: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Ìṣàlẹ̀ patiku: ≤ 0.25 μm
Afẹ́fẹ́ mímọ́, gbígbẹ tàbí 99.99% nitrogen mímọ́
Titẹ iduroṣinṣin pẹlu iyipada kekere

Nipa re

XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.