Ètò Ìtọ́sọ́nà Wafer fún Ìwọ̀n Ìtọ́sọ́nà Kírísítà
Ifihan Ẹrọ
Àwọn ohun èlò ìtọ́sọ́nà wafer jẹ́ àwọn ohun èlò tí ó péye tí a gbé ka orí ìlànà ìfọ́mọ́ra X-ray (XRD), tí a sábà máa ń lò nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, àwọn ohun èlò opitika, àwọn ohun èlò seramiki, àti àwọn ilé iṣẹ́ ohun èlò kirisita míràn.
Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ló ń pinnu ìtọ́sọ́nà àwọn ọ̀nà ìdènà kírísítàlì, wọ́n sì ń darí iṣẹ́ gígé tàbí dídán ní pàtó.
- Awọn wiwọn ti o ga julọ:Ó lágbára láti yanjú àwọn ìpele kirisita pẹ̀lú àwọn ìpinnu igun tí ó dín sí 0.001°.
- Ibamu apẹẹrẹ nla:Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn wafers tó tó 450 mm ní iwọ̀n àti ìwọ̀n 30 kg, ó sì dára fún àwọn ohun èlò bíi silicon carbide (SiC), sapphire, àti silicon (Si).
- Apẹrẹ modulu:Àwọn iṣẹ́ tó lè fẹ̀ síi pẹ̀lú ìwádìí ìlà ojú ọ̀run, àwòrán àbùkù ojú ilẹ̀ 3D, àti àwọn ẹ̀rọ ìtòjọ fún ṣíṣe àyẹ̀wò onípele púpọ̀.
Awọn ọna ẹrọ imọ-ẹrọ pataki
| Ẹ̀ka Àwọn Pàtàkì | Àwọn Ìwọ̀n/Ìṣètò Àṣàrò |
| Orísun X-ray | Cu-Kα (0.4×1 mm focal spot), folti iyara 30 kV, iṣan ọpọn tube ti a le ṣatunṣe 0–5 mA |
| Igun Igun | θ: -10° sí +50°; 2θ: -10° sí +100° |
| Ìgbésẹ̀ tó péye | Ìpinnu igun títẹ̀: 0.001°, wíwá àbùkù ojú ilẹ̀: ±30 arcseconds (ìtẹ̀síwájú gíga) |
| Iyara Ṣiṣayẹwo | Àwòrán Omega parí ìtọ́sọ́nà gbogbo lattice láàárín ìṣẹ́jú-àáyá márùn-ún; Àwòrán Theta gba ~ ìṣẹ́jú kan |
| Ipele Àpẹẹrẹ | V-groove, ìfàmọ́ra afẹ́fẹ́, ìyípo igun pupọ, tí ó bá àwọn wafers 2-8-inch mu |
| Awọn iṣẹ ti o gbooro sii | Ìwádìí ìtẹ̀síwájú, àwòrán 3D, ẹ̀rọ ìtòjọpọ̀, wíwá àbùkù opitika (àwọn ìfọ́, GBs) |
Ìlànà Iṣẹ́
1. Ìpìlẹ̀ Ìyípadà X-ray
- Àwọn ìtànṣán X máa ń bá àwọn nọ́ńbà átọ́míìkì àti àwọn elektírónù ṣiṣẹ́ nínú ìlà krístàlì, wọ́n sì máa ń mú àwọn àpẹẹrẹ ìyàsọ́tọ̀ jáde. Òfin Bragg (nλ = 2d sinθ) ló ń darí ìbáṣepọ̀ láàrín àwọn igun ìyàsọ́tọ̀ (θ) àti àlàfo ìlà (d).
Àwọn ohun tí a ń ṣe àwárí máa ń mú àwọn àpẹẹrẹ wọ̀nyí, èyí tí a ń ṣàyẹ̀wò láti tún ṣe àtúnṣe ìṣètò kirisita.
2. Imọ-ẹrọ Ayẹwo Omega
- Kírísítálì náà máa ń yípo yípo ní gbogbo ìgbà, nígbà tí àwọn ìtànṣán X-ray bá ń tàn án.
- Àwọn ohun tí a ń ṣe àwárí máa ń kó àwọn àmì ìyípadà jọ sí oríṣiríṣi àwọn ìpele kirisitalographic, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè pinnu ìtọ́sọ́nà gbogbo láàárín ìṣẹ́jú-àáyá márùn-ún.
3. Ìwádìí Ìtẹ̀síwájú
- Igun kirisita ti a ti ṣeto pẹlu awọn igun iṣẹlẹ X-ray oriṣiriṣi lati wọn iwọn oke (FWHM), ṣiṣe ayẹwo awọn abawọn lattice ati igara.
4. Iṣakoso Alaiṣiṣẹ
- PLC ati awọn ifọwọkan iboju ifọwọkan mu ki awọn igun gige ti a ti ṣeto tẹlẹ, esi akoko gidi, ati isọpọ pẹlu awọn ẹrọ gige fun iṣakoso pipade-loop.
Awọn anfani ati Awọn ẹya ara ẹrọ
1. Pípéye àti Ìṣiṣẹ́
- Ìpéye igun ±0.001°, ìpinnu ìwádìí àbùkù <30 arcseconds.
- Iyara ayẹwo Omega yiyara 200× ju awọn ayẹwo Theta ibile lọ.
2. Ṣíṣe àtúnṣe àti ìyípadà
- A le fẹ̀ sí i fún àwọn ohun èlò pàtàkì (fún àpẹẹrẹ, àwọn wafer SiC, àwọn abẹ́ turbine).
- Ó ṣepọ pẹ̀lú àwọn ètò MES fún àbójútó iṣẹ́-ṣíṣe ní àkókò gidi.
3. Ibamu ati Iduroṣinṣin
- Ó gba àwọn àpẹẹrẹ tí kò ní ìrísí tí ó yẹ (fún àpẹẹrẹ, àwọn ingots sapphire tí ó fọ́).
- Apẹrẹ ti a fi afẹfẹ tutu ṣe dinku awọn aini itọju.
4. Iṣẹ́ Ọlọ́gbọ́n
- Ìṣàtúnṣe ìtẹ̀ kan àti ìṣiṣẹ́ iṣẹ́-púpọ̀.
- Ṣíṣe àtúnṣe-àdáni pẹ̀lú àwọn kirisita ìtọ́kasí láti dín àṣìṣe ènìyàn kù.
Àwọn ohun èlò ìlò
1. Ṣíṣe Semiconductor
- Ìtọ́sọ́nà dídín wafer: Ó ń pinnu ìtọ́sọ́nà wafer Si, SiC, GaN fún ìṣiṣẹ́ gígé tó dára jùlọ.
- Àkójọpọ̀ àbùkù: Ó ń dá àwọn ìfọ́ ojú ilẹ̀ mọ̀ tàbí àwọn ìfọ́ kúrò láti mú kí ìṣẹ́lẹ̀ ërún pọ̀ sí i.
2. Awọn Ohun elo Opitika
- Àwọn kirisita tí kìí ṣe línẹ́ẹ̀tì (fún àpẹẹrẹ, LBO, BBO) fún àwọn ẹ̀rọ lésà.
- Àmì ìtọ́kasí ojú ilẹ̀ oníyebíye Sapphire fún àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ LED.
3. Àwọn ohun èlò ìṣẹ́ amọ̀ àti àwọn ohun èlò ìṣọ̀kan
- Ṣe àtúpalẹ̀ ìtọ́sọ́nà ọkà nínú Si3N4 àti ZrO2 fún àwọn ohun èlò tí ó ní iwọ̀n otútù gíga.
4. Iwadi ati Iṣakoso Didara
- Àwọn Yunifásítì/àwọn yàrá ìwádìí fún ìdàgbàsókè ohun èlò tuntun (fún àpẹẹrẹ, àwọn alloy entropy gíga).
- Ile-iṣẹ QC lati rii daju pe o ni ibamu pẹlu ipele.
Awọn iṣẹ XKH
XKH n pese atilẹyin imọ-ẹrọ ti o gbooro fun awọn ohun elo itọsọna wafer, pẹlu fifi sori ẹrọ, iṣapeye paramita ilana, itupalẹ titọka, ati mapping abawọn dada 3D. Awọn ojutu ti a ṣe deede (fun apẹẹrẹ, imọ-ẹrọ stacking ingot) ni a pese lati mu ṣiṣe iṣelọpọ semiconductor ati ohun elo opitika pọ si nipasẹ diẹ sii ju 30%. Ẹgbẹ ti o yasọtọ kan n ṣe ikẹkọ lori aaye, lakoko ti atilẹyin latọna jijin 24/7 ati rirọpo awọn ẹya apoju iyara rii daju pe o gbẹkẹle ẹrọ.
