12 inch SIC sobusitireti ohun alumọni carbide alakoko iwọn ila opin 300mm iwọn nla 4H-N Dara fun itusilẹ ooru ẹrọ giga

Apejuwe kukuru:

Sobusitireti ohun alumọni ohun alumọni 12-inch (sobusitireti SiC) jẹ iwọn-nla, ohun elo ohun elo semikondokito iṣẹ giga ti a ṣe lati okuta gara kan ti ohun alumọni carbide. Silicon carbide (SiC) jẹ ohun elo semikondokito aafo jakejado band pẹlu itanna to dara julọ, igbona ati awọn ohun-ini ẹrọ, eyiti o lo pupọ ni iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna ni agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga ati awọn agbegbe iwọn otutu giga. Sobusitireti 12-inch (300mm) jẹ sipesifikesonu ilọsiwaju lọwọlọwọ ti imọ-ẹrọ carbide silikoni, eyiti o le mu ilọsiwaju iṣelọpọ pọ si ati dinku awọn idiyele.


Alaye ọja

ọja Tags

Awọn abuda ọja

1. Imudaniloju ti o ga julọ: imudani ti o gbona ti ohun alumọni carbide jẹ diẹ sii ju awọn akoko 3 ti ohun alumọni, eyi ti o dara fun ẹrọ ti o ga julọ ti o pọju ooru.

2. Agbara aaye ti o ga julọ: Agbara aaye fifọ jẹ awọn akoko 10 ti ohun alumọni, ti o dara fun awọn ohun elo ti o ga julọ.

3.Wide bandgap: Bandgap jẹ 3.26eV (4H-SiC), o dara fun iwọn otutu giga ati awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga.

4. Lile giga: lile lile Mohs jẹ 9.2, keji nikan si diamond, resistance resistance to dara julọ ati agbara ẹrọ.

5. Kemikali iduroṣinṣin: agbara ipata resistance, iṣẹ iduroṣinṣin ni iwọn otutu giga ati agbegbe lile.

6. Iwọn nla: 12 inch (300mm) sobusitireti, mu iṣelọpọ iṣelọpọ ṣiṣẹ, dinku iye owo kuro.

7.Low abawọn density: didara giga nikan imọ-ẹrọ idagbasoke gara lati rii daju iwuwo abawọn kekere ati aitasera giga.

Ọja akọkọ ohun elo itọsọna

1. Awọn ẹrọ itanna agbara:

Mosfets: Ti a lo ninu awọn ọkọ ina, awọn awakọ mọto ile-iṣẹ ati awọn oluyipada agbara.

Diodes: gẹgẹbi Schottky diodes (SBD), ti a lo fun atunṣe daradara ati yiyipada awọn ipese agbara.

2. Awọn ẹrọ RF:

Ampilifaya agbara Rf: ti a lo ni awọn ibudo ipilẹ ibaraẹnisọrọ 5G ati awọn ibaraẹnisọrọ satẹlaiti.

Awọn ẹrọ makirowefu: Dara fun radar ati awọn eto ibaraẹnisọrọ alailowaya.

3. Awọn ọkọ ayọkẹlẹ agbara titun:

Awọn ọna awakọ ina: awọn olutona mọto ati awọn oluyipada fun awọn ọkọ ina.

Ngba agbara opoplopo: Agbara module fun sare gbigba agbara ẹrọ.

4. Awọn ohun elo ile-iṣẹ:

Oluyipada foliteji giga: fun iṣakoso motor ile-iṣẹ ati iṣakoso agbara.

Akoj Smart: Fun gbigbe HVDC ati awọn Ayirapada itanna agbara.

5. Ofurufu:

Awọn ẹrọ itanna otutu otutu: o dara fun awọn agbegbe iwọn otutu giga ti ohun elo afẹfẹ.

6. Aaye iwadi:

Iwadi semikondokito jakejado bandgap: fun idagbasoke ti awọn ohun elo semikondokito tuntun ati awọn ẹrọ.

Sobusitireti carbide ohun alumọni 12-inch jẹ iru awọn ohun elo ohun elo semikondokito iṣẹ-giga pẹlu awọn ohun-ini ti o dara julọ gẹgẹbi adaṣe igbona giga, agbara aaye fifọ giga ati aafo ẹgbẹ jakejado. O ti wa ni lilo pupọ ni awọn ẹrọ itanna agbara, awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ redio, awọn ọkọ ayọkẹlẹ agbara titun, iṣakoso ile-iṣẹ ati oju-ofurufu, ati pe o jẹ ohun elo pataki lati ṣe igbelaruge idagbasoke ti iran atẹle ti awọn ẹrọ itanna ti o munadoko ati agbara giga.

Lakoko ti awọn sobusitireti ohun alumọni lọwọlọwọ ni awọn ohun elo taara diẹ ninu ẹrọ itanna olumulo gẹgẹbi awọn gilaasi AR, agbara wọn ni iṣakoso agbara daradara ati ẹrọ itanna kekere le ṣe atilẹyin iwuwo fẹẹrẹ, awọn ipinnu ipese agbara iṣẹ giga fun awọn ẹrọ AR/VR iwaju. Ni lọwọlọwọ, idagbasoke akọkọ ti sobusitireti ohun alumọni ohun alumọni ti wa ni idojukọ ni awọn aaye ile-iṣẹ bii awọn ọkọ ayọkẹlẹ agbara tuntun, awọn amayederun ibaraẹnisọrọ ati adaṣe ile-iṣẹ, ati ṣe agbega ile-iṣẹ semikondokito lati dagbasoke ni ilọsiwaju daradara ati itọsọna igbẹkẹle.

XKH ti pinnu lati pese didara 12 "SIC awọn sobusitireti pẹlu atilẹyin imọ-ẹrọ okeerẹ ati awọn iṣẹ, pẹlu:

1. Iṣelọpọ ti adani: Ni ibamu si awọn alabara nilo lati pese resistance ti o yatọ, iṣalaye gara ati sobusitireti itọju dada.

2. Ilana ti o dara ju: Pese awọn onibara pẹlu atilẹyin imọ-ẹrọ ti idagbasoke epitaxial, ẹrọ ẹrọ ati awọn ilana miiran lati mu ilọsiwaju ọja ṣiṣẹ.

3. Idanwo ati iwe-ẹri: Pese wiwa abawọn ti o muna ati iwe-ẹri didara lati rii daju pe sobusitireti pade awọn iṣedede ile-iṣẹ.

Ifowosowopo 4.R & d: Ni iṣọkan ṣe agbekalẹ awọn ohun elo silikoni carbide titun pẹlu awọn onibara lati ṣe igbelaruge imọ-ẹrọ imọ-ẹrọ.

Atọka data

1 2 inch Silicon Carbide (SiC) pato sobusitireti
Ipele ZeroMPD iṣelọpọ
Ite(Ipele Z)
Standard Production
Ite(P Ite)
Idiwon ite
(Ite D)
Iwọn opin 3 00 mm ~ 305mm
Sisanra 4H-N 750μm± 15 μm 750μm± 25 μm
4H-SI 750μm± 15 μm 750μm± 25 μm
Wafer Iṣalaye Pa axis: 4.0° si <1120>±0.5° fun 4H-N, Lori ipo: <0001>±0.5° fun 4H-SI
Iwuwo Micropipe 4H-N ≤0.4cm-2 ≤4cm-2 ≤25cm-2
4H-SI ≤5cm-2 ≤10cm-2 ≤25cm-2
Resistivity 4H-N 0.015 ~ 0.024 Ω · cm 0.015 ~ 0.028 Ω · cm
4H-SI ≥1E10 Ω·cm ≥1E5 Ω·cm
Primary Flat Iṣalaye {10-10} ±5.0°
Primary Flat Gigun 4H-N N/A
4H-SI Ogbontarigi
Iyasoto eti 3 mm
LTV/TTV/ Teriba / Warp ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Irora Polish Ra≤1 nm
CMP Ra≤0.2 nm Ra≤0.5 nm
Eti dojuijako Nipa Ga kikankikan Light
Hex farahan Nipa High kikankikan Light
Awọn agbegbe Polytype Nipa Imọlẹ Kikan Giga
Visual Erogba Ifisi
Silicon Surface Scratches Nipa Giga kikankikan Light
Ko si
Agbegbe akojọpọ ≤0.05%
Ko si
Agbegbe akojọpọ ≤0.05%
Ko si
Akopọ ipari ≤ 20 mm, ipari kan≤2 mm
Agbegbe akojọpọ ≤0.1%
Agbegbe akojọpọ≤3%
Agbegbe akojọpọ ≤3%
Àkópọ̀ gígùn≤1×ìwọ̀n òpin wafer
Awọn eerun eti Nipa Imọlẹ Imọlẹ giga Ko si idasilẹ ≥0.2mm fifẹ ati ijinle 7 laaye, ≤1 mm kọọkan
(TSD) Threading dabaru dislocation ≤500 cm-2 N/A
(BPD) Ipilẹ ofurufu dislocation ≤1000 cm-2 N/A
Ohun alumọni dada kontaminesonu Nipa High kikankikan Light Ko si
Iṣakojọpọ Kasẹti-wafer pupọ Tabi Apoti Wafer Nikan
Awọn akọsilẹ:
1 Awọn opin awọn abawọn lo si gbogbo oju wafer ayafi fun agbegbe iyasoto eti.
2Awọn idọti yẹ ki o ṣayẹwo lori oju Si nikan.
3 Awọn data dislocation jẹ nikan lati KOH etched wafers.

XKH yoo tẹsiwaju lati ṣe idoko-owo ni iwadi ati idagbasoke lati ṣe igbelaruge aṣeyọri ti 12-inch silicon carbide substrates ni iwọn nla, awọn abawọn kekere ati aitasera giga, lakoko ti XKH ṣawari awọn ohun elo rẹ ni awọn agbegbe ti o nyoju gẹgẹbi awọn ẹrọ itanna onibara (gẹgẹbi awọn modulu agbara fun awọn ẹrọ AR / VR) ati iṣiro kuatomu. Nipa idinku awọn idiyele ati jijẹ agbara, XKH yoo mu aisiki wa si ile-iṣẹ semikondokito.

Alaye aworan atọka

12inch Sic wafer 4
12inch Sic wafer 5
12inch Sic wafer 6

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa