Wafer SiC iru P-4H/6H-P 3C-N 6inch sisanra 350 μm pẹlu Iṣalaye Alapin Akọkọ
Àpèjúwe 4H/6H-P Iru SiC Àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ tí ó wọ́pọ̀ Tábìlì paramita tí ó wọ́pọ̀
6 iwọn ila opin inch Silikoni Carbide (SiC) Substrate Ìlànà ìpele
| Ipele | Ìṣẹ̀dá MPD ÒdoIpele (Z) Ipele) | Iṣelọpọ BoṣewaIpele (P) Ipele) | Ipele Dídán (D Ipele) | ||
| Iwọn opin | 145.5 mm ~ 150.0 mm | ||||
| Sisanra | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Wafer | -OffÀàlà: 2.0°-4.0° sí [1120] ± 0.5° fún 4H/6H-P, Lórí ààlà: 〈111〉± 0.5° fún 3C-N | ||||
| Ìwọ̀n Pípù Mọ́kírọ́pù | 0 cm-2 | ||||
| Àìfaradà | Iru-p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-type 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Keji | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Atẹle | Silikoni kọjú sí òkè: 90° CW. láti Prime flat ± 5.0° | ||||
| Ìyọkúrò Etí | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Tọfà/Wọpa | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Ríru | Pólándì Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Ìfọ́ Etí Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 10 mm, gígùn kan ṣoṣo ≤ 2 mm | |||
| Àwọn Àwo Hex Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤0.1% | |||
| Àwọn Agbègbè Onírúurú Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Agbegbe apapọ≤3% | |||
| Àwọn Ìfikún Erogba Àwòrán | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤3% | |||
| Àwọn Ìfọ́ ojú Silikoni Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 1 × ìwọ̀n ìbúgbà wafer | |||
| Àwọn Ẹ̀kún Etí Gíga Nípa Ìmọ́lẹ̀ Líle | Kò sí èyí tí a gbà láàyè ≥0.2mm fífẹ̀ àti jíjìn | 5 ni a gba laaye, ≤1 mm ọkọọkan | |||
| Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ Silikoni nípasẹ̀ agbára gíga | Kò sí | ||||
| Àkójọ | Àwo Ṣáìsìtà Oní-wafer Onírúurú tàbí Àpótí Wafer Oníkan ṣoṣo | ||||
Àwọn Àkíyèsí:
※ Ààlà àbùkù kan gbogbo ojú wafer àyàfi agbègbè ìyọkúrò etí. # Àwọn ìfọ́ náà yẹ kí a ṣàyẹ̀wò lórí ojú Si o
Wafer SiC iru P, 4H/6H-P 3C-N, pẹlu iwọn 6-inch rẹ ati sisanra 350 μm, ṣe ipa pataki ninu iṣelọpọ ile-iṣẹ ti awọn ẹrọ itanna agbara giga. Agbara itanna ooru ti o dara julọ ati folti fifọ giga rẹ jẹ ki o dara julọ fun iṣelọpọ awọn paati bii awọn yipada agbara, awọn diode, ati awọn transistors ti a lo ni awọn agbegbe iwọn otutu giga bi awọn ọkọ ayọkẹlẹ ina, awọn grids agbara, ati awọn eto agbara isọdọtun. Agbara wafer lati ṣiṣẹ daradara ni awọn ipo lile rii daju pe iṣẹ ṣiṣe ti o gbẹkẹle ni awọn ohun elo ile-iṣẹ ti o nilo iwuwo agbara giga ati ṣiṣe agbara. Ni afikun, itọsọna alapin akọkọ rẹ ṣe iranlọwọ ni tito deede lakoko iṣelọpọ ẹrọ, imudarasi ṣiṣe iṣelọpọ ati ibamu ọja.
Àwọn àǹfààní ti àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ SiC ti N-type ni
- Ìgbékalẹ̀ Ooru Gíga: Àwọn wafer SiC onírú P máa ń tú ooru jáde dáadáa, èyí sì máa ń mú kí wọ́n dára fún lílo iwọ̀n otútù gíga.
- Fólíìgì Ìfọ́lẹ̀ Gíga: O lagbara lati koju awọn folti giga, ṣiṣe idaniloju igbẹkẹle ninu awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn ẹrọ folti giga.
- Àtakò sí Àwọn Àyíká Líle: Agbara to peye ni awọn ipo to le koko, gẹgẹbi awọn iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ti o bajẹ.
- Ìyípadà Agbára Tó Dára: Iru-P doping naa mu ki agbara ṣiṣe daradara, ti o mu ki wafer naa dara fun awọn eto iyipada agbara.
- Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́: Ó ń rí i dájú pé ó péye nígbà tí a bá ń ṣe é, ó ń mú kí ẹ̀rọ náà péye, ó sì ń ṣiṣẹ́ dáadáa.
- Ìṣètò Tínrín (350 μm): Sisanra to dara julọ ti wafer naa ṣe atilẹyin fun isọpọpọ sinu awọn ẹrọ itanna ti o ti ni ilọsiwaju, ti o ni aaye ti o ni opin.
Ni gbogbogbo, wafer SiC iru P, 4H/6H-P 3C-N, nfunni ni ọpọlọpọ awọn anfani ti o jẹ ki o dara fun awọn ohun elo ile-iṣẹ ati ẹrọ itanna. Agbara giga rẹ ati folti fifọ jẹ ki iṣẹ ti o gbẹkẹle ni awọn agbegbe iwọn otutu giga ati folti giga, lakoko ti resistance rẹ si awọn ipo lile ṣe idaniloju agbara. Doping iru P gba laaye fun iyipada agbara to munadoko, ti o jẹ ki o dara julọ fun awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn eto agbara. Ni afikun, itọsọna alapin akọkọ ti wafer ṣe idaniloju ibamu deede lakoko ilana iṣelọpọ, ti o mu iduroṣinṣin iṣelọpọ pọ si. Pẹlu sisanra ti 350 μm, o dara fun isọpọ sinu awọn ẹrọ ti o ni ilọsiwaju, ti o kere ju.
Àwòrán Àlàyé
