Sórísìsì SiC P-type 4H/6H-P 3C-N 4inch pẹ̀lú sísanra ti 350um Ipele iṣelọpọ Díẹ̀díẹ̀ Díẹ̀díẹ̀
Àtẹ ìpele SiC oní-ìwọ̀n 4inches P-type 4H/6H-P 3C-N
4 iwọn ila opin inch SilikoniÀpòpọ̀ Carbide (SiC) Ìlànà ìpele
| Ipele | Ìṣẹ̀dá MPD Òdo Ipele (Z) Ipele) | Iṣelọpọ Boṣewa Ipele (P) Ipele) | Ipele Dídán (D Ipele) | ||
| Iwọn opin | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||
| Sisanra | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Wafer | Ní ìsàlẹ̀: 2.0°-4.0° sí [11]20] ± 0.5° fún 4H/6H-P, OÀàlà n:〈111〉± 0.5° fún 3C-N | ||||
| Ìwọ̀n Pípù Mọ́kírọ́pù | 0 cm-2 | ||||
| Àìfaradà | Iru-p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-type 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Keji | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Atẹle | Silikoni kọjú sí òkè: 90° CW. láti Prime flat±5.0° | ||||
| Ìyọkúrò Etí | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Tọfà/Wọpa | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Ríru | Pólándì Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Ìfọ́ Etí Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 10 mm, gígùn kan ṣoṣo ≤ 2 mm | |||
| Àwọn Àwo Hex Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤0.1% | |||
| Àwọn Agbègbè Onírúurú Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Agbegbe apapọ≤3% | |||
| Àwọn Ìfikún Erogba Àwòrán | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤3% | |||
| Àwọn Ìfọ́ ojú Silikoni Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 1 × ìwọ̀n ìbúgbà wafer | |||
| Àwọn Ẹ̀kún Etí Gíga Nípa Ìmọ́lẹ̀ Líle | Kò sí èyí tí a gbà láàyè ≥0.2mm fífẹ̀ àti jíjìn | 5 ni a gba laaye, ≤1 mm ọkọọkan | |||
| Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ Silikoni nípasẹ̀ agbára gíga | Kò sí | ||||
| Àkójọ | Àwo Ṣáìsìtà Oní-wafer Onírúurú tàbí Àpótí Wafer Oníkan ṣoṣo | ||||
Àwọn Àkíyèsí:
※Ààlà àbùkù kan gbogbo ojú wafer àyàfi agbègbè ìyọkúrò etí. # O yẹ kí a ṣàyẹ̀wò àwọn ìfọ́ náà lórí ojú Si nìkan.
A lo ohun elo SiC 4-inch P-type 4H/6H-P 3C-N 4-inch pẹlu sisanra ti 350 μm ni ibigbogbo ninu iṣelọpọ ẹrọ itanna ati agbara to ti ni ilọsiwaju. Pẹlu agbara ooru to dara julọ, folti fifọ giga, ati resistance to lagbara si awọn agbegbe to buruju, ohun elo yii dara julọ fun awọn ẹrọ itanna agbara giga bi awọn yipada folti giga, awọn inverters, ati awọn ẹrọ RF. A lo awọn ohun elo ti o ni ipele iṣelọpọ ni iṣelọpọ iwọn nla, ṣiṣe idaniloju iṣẹ ẹrọ ti o gbẹkẹle, ti o peye, eyiti o ṣe pataki fun awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ giga. Ni apa keji, awọn ohun elo Dummy-grade ni a lo fun wiwọn ilana, idanwo ẹrọ, ati idagbasoke apẹẹrẹ, ti n ṣe iranlọwọ lati ṣetọju iṣakoso didara ati ibamu ilana ni iṣelọpọ semiconductor.
Ìlànà ìṣàfihànÀwọn àǹfààní ti àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ N-type SiC pẹ̀lú
- Ìgbékalẹ̀ Ooru Gíga: Ìtújáde ooru tó péye mú kí ohun èlò náà dára fún àwọn ohun èlò tó ní agbára gíga àti agbára gíga.
- Fólíìgì Ìfọ́lẹ̀ Gíga: Ṣe atilẹyin fun iṣẹ foliteji giga, ni idaniloju igbẹkẹle ninu awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn ẹrọ RF.
- Àtakò sí Àwọn Àyíká Líle: Ó le pẹ́ ní àwọn ipò tó le koko bíi igbóná gíga àti àyíká ìbàjẹ́, èyí tó ń mú kí iṣẹ́ rẹ̀ pẹ́ títí.
- Ìpele Ìṣẹ̀dá-Ìpele Pípé: Ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ ati igbẹkẹle ninu iṣelọpọ iwọn nla, o dara fun awọn ohun elo agbara to ti ni ilọsiwaju ati RF.
- Ipele Dídánwò fún Ìdánwò: Ó ń mú kí ìṣàtúnṣe ìlànà tó péye, ìdánwò ohun èlò, àti ìṣàfihàn àpẹẹrẹ láìsí ìbàjẹ́ àwọn ìpele ìṣẹ̀dá.
Ni gbogbogbo, ipilẹ SiC 4-inch P-type 4H/6H-P 3C-N 4-inch pẹlu sisanra ti 350 μm nfunni ni awọn anfani pataki fun awọn ohun elo itanna ti o ni iṣẹ giga. Agbara giga ooru ati folti fifọ rẹ jẹ ki o dara julọ fun awọn agbegbe agbara giga ati iwọn otutu giga, lakoko ti resistance rẹ si awọn ipo lile ṣe idaniloju agbara ati igbẹkẹle. Ipilẹ-ipele iṣelọpọ rii daju pe iṣẹ ṣiṣe deede ati deede ni iṣelọpọ iwọn nla ti awọn ẹrọ itanna agbara ati awọn ẹrọ RF. Nibayi, ipilẹ-ipele dummy ṣe pataki fun wiwọn ilana, idanwo ẹrọ, ati iṣafihan, ti n ṣe atilẹyin iṣakoso didara ati iduroṣinṣin ninu iṣelọpọ semiconductor. Awọn ẹya wọnyi jẹ ki awọn ipilẹ SiC yatọ pupọ fun awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju.
Àwòrán Àlàyé
