Ìmọ́tótó Gíga 3 inches (Kò tíì sí ìdàgbàsókè) Àwọn Wafers Silikoni Carbide Semi-Insulating Sic Substrates (HPSl)

Àwòrán tó ní ìmọ́tótó gíga tó tó 3 inches (tí a kò tíì lò tán) Àwọ̀ Silikoni Carbide tó ní ìdàpọ̀ ìdábòbò (HPSl)

Àpèjúwe Kúkúrú:

Wafer Silicon Carbide (SiC) oníwọ̀n 3-inch jẹ́ ohun èlò tó dára fún ìlò agbára gíga, ìgbóná gíga, àti àwọn ohun èlò optoelectronic. A ṣe é pẹ̀lú ohun èlò 4H-SiC tí kò ní ìwúkàrà gíga, àwọn wafer wọ̀nyí ń fi ìgbóná ooru tó dára hàn, bandgap tó gbòòrò, àti àwọn ohun èlò ìdábòbò aláìlẹ́gbẹ́, èyí tó mú kí wọ́n ṣe pàtàkì fún ìdàgbàsókè ẹ̀rọ tó ti lọ síwájú. Pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ìṣètò àti dídára ojú ilẹ̀ tó ga jùlọ, àwọn ohun èlò HPSI SiC ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìran tó ń bọ̀ nínú àwọn ilé iṣẹ́ ẹ̀rọ itanna agbára, ìbánisọ̀rọ̀, àti afẹ́fẹ́, èyí tó ń ṣètìlẹ́yìn fún ìṣẹ̀dá tuntun ní oríṣiríṣi ẹ̀ka.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwọn dúkìá

1. Àwọn Ohun Ànímọ́ Ti Ara àti Ìṣètò
●Irú Ohun Èlò: Mímọ́ Gíga (A kò tíì lò ó) Silikoni Carbide (SiC)
●Ìwọ̀n Ìwọ̀n Ìwọ̀n: 3 ínṣì (76.2 mm)
●Sísanra: 0.33-0.5 mm, a le ṣe é gẹ́gẹ́ bí a ṣe fẹ́ kí ó rí.
●Ìṣètò Kírísítàlì: Onírúurú 4H-SiC pẹ̀lú ìlà onígun mẹ́fà, tí a mọ̀ fún ìṣíkiri elekitironi gíga àti ìdúróṣinṣin ooru.
●Ìtọ́sọ́nà:
oStandard: [0001] (C-plane), o dara fun ọpọlọpọ awọn ohun elo.
o Àṣàyàn: Ní ìsàlẹ̀-ààlà (ìtẹ̀sí 4° tàbí 8°) fún ìdàgbàsókè epitaxial ti àwọn ìpele ẹ̀rọ tí ó pọ̀ sí i.
●Fífẹ̀: Àyípadà nínípọn gbogbo (TTV) ●Dídára ojú ilẹ̀:
Ó jẹ́ dídán sí ìwọ̀n àbùkù díẹ̀ (<10/cm² ìwọ̀n micropipe). 2. Àwọn ànímọ́ iná mànàmáná ●Ìdènà: >109^99 Ω·cm, tí a ń tọ́jú nípa yíyọ àwọn oògùn tí a mọ̀ọ́mọ̀ mú kúrò.
●Agbára Dielectric: Fífún fóltéèjì tó ga pẹ̀lú àwọn ìpàdánù dielectric tó kéré, tó dára fún àwọn ohun èlò agbára gíga.
●Ìgbékalẹ̀ ooru: 3.5-4.9 W/cm·K, èyí tó ń mú kí ooru máa tàn kálẹ̀ dáadáa nínú àwọn ẹ̀rọ tó ní agbára gíga.

3. Àwọn Ohun Èlò Ìgbóná àti Ẹ̀rọ
●Ìwọ̀n Ìwọ̀n Ìwọ̀n Ìwọ̀n: 3.26 eV, ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ lábẹ́ fólítì gíga, igbóná gíga, àti àwọn ipò ìtànṣán gíga.
●Lile: Iwọn Mohs 9, ti o rii daju pe o lagbara lodi si lilo ẹrọ lakoko sisẹ.
●Ìwọ̀n Ìfàsẹ́yìn Ìgbóná: 4.2×10−6/K4.2 \igba 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìwọ̀n rẹ̀ dúró ṣinṣin lábẹ́ àwọn ìyàtọ̀ iwọ̀n otútù.

Pílámẹ́rà	Ipele Iṣelọpọ	Ipele Iwadi	Ipele Dídán	Ẹyọ kan
Ipele	Ipele Iṣelọpọ	Ipele Iwadi	Ipele Dídán
Iwọn opin	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
Sisanra	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µm
Ìtọ́sọ́nà Wafer	Lórí ààyè: <0001> ± 0.5°	Lórí ààyè: <0001> ± 2.0°	Lórí ààyè: <0001> ± 2.0°	oye
Ìwọ̀n Pípù Mọ́kírọ́pù (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	cm−2^-2−2
Agbara Itanna	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·cm
Dopant	Tí a kò mu oògùn	Tí a kò mu oògùn	Tí a kò mu oògùn
Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	oye
Gígùn Pẹpẹ Àkọ́kọ́	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
Gígùn Pẹpẹ Keji	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Atẹle	90° CW láti ilé alákọ̀ọ́bẹ̀rẹ̀ ± 5.0°	90° CW láti ilé alákọ̀ọ́bẹ̀rẹ̀ ± 5.0°	90° CW láti ilé alákọ̀ọ́bẹ̀rẹ̀ ± 5.0°	oye
Ìyọkúrò Etí	3	3	3	mm
LTV/TTV/Tọfà/Wọpa	3 / 10 / ± 30 / 40	3 / 10 / ± 30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µm
Ríru ojú	Si-oju: CMP, C-oju: Ti di didan	Si-oju: CMP, C-oju: Ti di didan	Si-oju: CMP, C-oju: Ti di didan
Àwọn ìfọ́ (Ìmọ́lẹ̀ Gíga)	Kò sí	Kò sí	Kò sí
Àwọn Àwo Hex (Ìmọ́lẹ̀ Gíga)	Kò sí	Kò sí	Agbegbe apapọ 10%	%
Àwọn Agbègbè Onírúurú (Ìmọ́lẹ̀ Gíga)	Agbegbe apapọ 5%	Agbegbe apapọ 20%	Agbegbe apapọ 30%	%
Àwọn ìfọ́ (Ìmọ́lẹ̀ Gíga)	≤ Àwọn ìfọ́ 5, gígùn àpapọ̀ ≤ 150	≤ Àwọn ìfọ́ 10, gígùn àpapọ̀ ≤ 200	≤ Àwọn ìfọ́ 10, gígùn àpapọ̀ ≤ 200	mm
Ige eti	Kò sí ≥ 0.5 mm fífẹ̀/jìnlẹ̀	2 tí a gbà láàyè ≤ 1 mm fífẹ̀/jìnlẹ̀	5 ti a gba laaye ≤ 5 mm iwọn/jin	mm
Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀	Kò sí	Kò sí	Kò sí

Àwọn ohun èlò ìlò

1. Awọn ẹrọ itanna agbara
Ìwọ̀n ìpele tí ó gbòòrò àti agbára ìgbóná gíga ti àwọn ohun èlò HPSI SiC mú kí wọ́n dára fún àwọn ẹ̀rọ agbára tí ń ṣiṣẹ́ ní àwọn ipò tí ó le koko, bíi:
●Àwọn Ẹ̀rọ Fóltéèjì Gíga: Pẹ̀lú àwọn MOSFET, IGBT, àti Schottky Barrier Diodes (SBDs) fún ìyípadà agbára tó gbéṣẹ́.
●Àwọn Ètò Agbára Tí A Lè Ṣe Àtúnṣe: Bíi àwọn ẹ̀rọ ìyípadà oòrùn àti àwọn olùdarí ẹ̀rọ afẹ́fẹ́.
●Àwọn Ọkọ̀ Iná Mọ̀nàmọ́ná (EV): A ń lò ó nínú àwọn ẹ̀rọ inverters, chargers, àti powertrain láti mú kí iṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi àti láti dín ìwọ̀n wọn kù.

2. Awọn Ohun elo RF ati Makirowefu
Agbara resistance giga ati pipadanu dielectric kekere ti awọn wafers HPSI ṣe pataki fun awọn eto igbohunsafẹfẹ redio (RF) ati awọn ẹrọ maikirowefu, pẹlu:
●Àwọn ètò ìbánisọ̀rọ̀: Àwọn ibùdó ìpìlẹ̀ fún àwọn nẹ́tíwọ́ọ̀kì 5G àti ìbánisọ̀rọ̀ sátẹ́láìtì.
●Afẹ́fẹ́ àti Ààbò: Àwọn ètò rédà, àwọn antenna onípele-ìpele, àti àwọn ẹ̀yà avionics.

3. Optoelectronics
Ìmọ́lẹ̀ àti ìyàtọ̀ tó gbòòrò ti 4H-SiC mú kí lílò rẹ̀ wà nínú àwọn ẹ̀rọ optoelectronic, bíi:
●Àwọn ohun tí ń ṣe àyẹ̀wò fọ́tò UV: Fún àbójútó àyíká àti àyẹ̀wò ìṣègùn.
●Àwọn LED Agbára Gíga: Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ètò ìmọ́lẹ̀ tó lágbára.
●Àwọn Díódì Lésà: Fún àwọn ohun èlò ilé iṣẹ́ àti ìṣègùn.

4. Ìwádìí àti Ìdàgbàsókè
Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ HPSI SiC ni a lò ní àwọn ilé ìwádìí àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ní ilé-iṣẹ́ fún ṣíṣe àwárí àwọn ohun-ìní ohun èlò àti iṣẹ́ ẹ̀rọ tó ti pẹ́, títí bí:
●Ìdàgbàsókè Àpẹ̀rẹ̀: Àwọn ìkẹ́kọ̀ọ́ lórí ìdínkù àbùkù àti ìṣàtúnṣe àpẹ̀rẹ̀.
●Àwọn Ìkẹ́kọ̀ọ́ Ìrìn Àjò: Ìwádìí nípa ìrìn àjò elekitironi àti ihò nínú àwọn ohun èlò mímọ́ tó ga.
●Ṣíṣe àwòkọ́ṣe: Ìṣẹ̀dá ìbẹ̀rẹ̀ àwọn ẹ̀rọ tuntun àti àwọn àyíká.

Àwọn àǹfààní

Didara to gaju:
Iwa mimọ giga ati iwuwo abawọn kekere pese ipilẹ ti o gbẹkẹle fun awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju.

Iduroṣinṣin Ooru:
Àwọn ohun ìní ìtújáde ooru tó dára jùlọ ń jẹ́ kí àwọn ẹ̀rọ ṣiṣẹ́ dáadáa lábẹ́ agbára gíga àti àwọn ipò otutu.

Ibamu gbooro:
Awọn itọsọna ti o wa ati awọn aṣayan sisanra aṣa rii daju pe o le ṣe deede fun awọn ibeere ẹrọ oriṣiriṣi.

Àìlera:
Agbara ati iduroṣinṣin ti o tayọ dinku wiwọ ati ibajẹ lakoko sisẹ ati iṣiṣẹ.

Ìrísí tó wọ́pọ̀:
Ó yẹ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé iṣẹ́, láti agbára àtúnṣe sí ọkọ̀ òfurufú àti ìbánisọ̀rọ̀.

Ìparí

Wafer Silicon Carbide High Purity Semi-Insulating 3-inch dúró fún ìpele ìmọ̀ ẹ̀rọ substrate fún àwọn ẹ̀rọ agbára gíga, ìgbóná gíga, àti optoelectronic. Àpapọ̀ àwọn ohun-ìní ooru, iná mànàmáná, àti ẹ̀rọ tó dára ń mú kí iṣẹ́ rẹ̀ ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àwọn àyíká tó le koko. Láti ẹ̀rọ itanna agbára àti àwọn ẹ̀rọ RF sí optoelectronics àti ìwádìí àti ìdàgbàsókè tó ti ní ìlọsíwájú, àwọn ohun èlò HPSI wọ̀nyí ló ń pèsè ìpìlẹ̀ fún àwọn ìṣẹ̀dá tuntun ọ̀la.
Fun alaye siwaju sii tabi lati paṣẹ, jọwọ kan si wa. Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa wa lati pese itọsọna ati awọn aṣayan isọdi ti a ṣe deede si awọn aini rẹ.