4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch gbóògì Idiwon ite Dia150mm Silicon carbide sobusitireti

Apejuwe kukuru:

A le pese iwọn otutu ti o ga julọ superconducting fiimu tinrin, awọn fiimu tinrin oofa ati sobusitireti fiimu tinrin ferroelectric, kirisita semikondokito, gara opiti, awọn ohun elo gara lesa, ni akoko kanna pese iṣalaye, gige gara, lilọ, didan ati awọn iṣẹ iṣelọpọ miiran. Awọn sobusitireti SiC wa lati Ile-iṣẹ Tankeblue ni Ilu China.


Alaye ọja

ọja Tags

6 inch iwọn ila opin ohun alumọni carbide (SiC) sipesifikesonu sobusitireti

Ipele

Odo MPD

Ṣiṣejade

Iwadi ite

Idiwon ite

Iwọn opin

150.0mm ± 0.25mm

Sisanra

4H-N

350um± 25um

4H-SI

500um± 25um

Wafer Iṣalaye

Lori ipo: <0001> ± 0.5 ° fun 4H-SI
Pa axis: 4.0° si<1120>±0.5°fun 4H-N

Alapin akọkọ

{10-10}±5.0°

Primary Flat Gigun

47.5mm ± 2.5mm

Iyasoto eti

3mm

TTV / Teriba / Warp

≤15um/≤40um/≤60um

Iwuwo Micropipe

≤1cm-2

≤5cm-2

≤15cm-2

≤50cm-2

Resistivity 4H-N 4H-SI

0.015 ~ 0.028Ω! cm

≥1E5Ω!cm

Irora

Polish Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm

# Awọn dojuijako nipasẹ ina kikankikan giga

Ko si

1 laaye,≤2mm

Akopọ ipari ≤10mm, ipari kan≤2mm

* Awọn awo Hex nipasẹ ina kikankikan giga

Agbegbe akojọpọ ≤1%

Agbegbe akojọpọ ≤ 2%

Agbegbe akojọpọ ≤ 5%

* Awọn agbegbe polytype nipasẹ ina kikankikan giga

Ko si

Agbegbe akojọpọ ≤ 2%

Agbegbe akojọpọ ≤ 5%

*&Scratches nipasẹ ina kikankikan giga

3 scratches to 1 x wafer opin akojo ipari

5 scratches to 1 x wafer opin akojo ipari

5scratches to 1 x wafer iwọn ila opin akojo ipari

Chip eti

Ko si

3 laaye, ≤0.5mm kọọkan

5 laaye, ≤1mm kọọkan

Idoti nipasẹ ina kikankikan giga

Ko si

Tita & Onibara Service

Awọn ohun elo rira

Ẹka rira awọn ohun elo jẹ iduro lati ṣajọ gbogbo awọn ohun elo aise ti o nilo lati gbejade ọja rẹ. Itọpa pipe ti gbogbo awọn ọja ati awọn ohun elo, pẹlu kemikali ati itupalẹ ti ara wa nigbagbogbo.

Didara

Lakoko ati lẹhin iṣelọpọ tabi ẹrọ ti awọn ọja rẹ, ẹka iṣakoso didara ni ipa ninu rii daju pe gbogbo awọn ohun elo ati awọn ifarada pade tabi kọja sipesifikesonu rẹ.

Iṣẹ

A ni igberaga ara wa ni nini awọn oṣiṣẹ imọ-ẹrọ tita pẹlu awọn iriri ọdun 5 ju ni ile-iṣẹ semikondokito. Wọn ti ni ikẹkọ lati dahun awọn ibeere imọ-ẹrọ bakannaa pese awọn agbasọ akoko fun awọn iwulo rẹ.

a wa ni ẹgbẹ rẹ nigbakugba ti o ba ni iṣoro, ati yanju rẹ ni awọn wakati 10.

Alaye aworan atọka

Sobusitireti carbide silikoni (1)
Silikoni carbide sobusitireti (2)

  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa