4H/6H-P 6inch wafer SiC ipele odo MPD Ipele Dummy Ipò Ìṣẹ̀dá
Àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ SiC Iru 4H/6H-P Tábìlì paramita gbogbogbò
6 iwọn ila opin inch Silikoni Carbide (SiC) Substrate Ìlànà ìpele
| Ipele | Ìṣẹ̀dá MPD ÒdoIpele (Z) Ipele) | Iṣelọpọ BoṣewaIpele (P) Ipele) | Ipele Dídán (D Ipele) | ||
| Iwọn opin | 145.5 mm ~ 150.0 mm | ||||
| Sisanra | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Wafer | -OffÀàlà: 2.0°-4.0° sí [1120] ± 0.5° fún 4H/6H-P, Lórí ààlà: 〈111〉± 0.5° fún 3C-N | ||||
| Ìwọ̀n Pípù Mọ́kírọ́pù | 0 cm-2 | ||||
| Àìfaradà | Iru-p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-type 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Àkọ́kọ́ | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Gígùn Pẹpẹ Keji | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Ìtọ́sọ́nà Pẹpẹ Atẹle | Silikoni kọjú sí òkè: 90° CW. láti Prime flat ± 5.0° | ||||
| Ìyọkúrò Etí | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Tọfà/Wọpa | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Ríru | Pólándì Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Ìfọ́ Etí Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 10 mm, gígùn kan ṣoṣo ≤ 2 mm | |||
| Àwọn Àwo Hex Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤0.1% | |||
| Àwọn Agbègbè Onírúurú Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Agbegbe apapọ≤3% | |||
| Àwọn Ìfikún Erogba Àwòrán | Agbegbe apapọ ≤0.05% | Agbegbe apapọ ≤3% | |||
| Àwọn Ìfọ́ ojú Silikoni Nípasẹ̀ Ìmọ́lẹ̀ Gíga | Kò sí | Gígùn àpapọ̀ ≤ 1 × ìwọ̀n ìbúgbà wafer | |||
| Àwọn Ẹ̀kún Etí Gíga Nípa Ìmọ́lẹ̀ Líle | Kò sí èyí tí a gbà láàyè ≥0.2mm fífẹ̀ àti jíjìn | 5 ni a gba laaye, ≤1 mm ọkọọkan | |||
| Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ Silikoni nípasẹ̀ agbára gíga | Kò sí | ||||
| Àkójọ | Àwo Ṣáìsìtà Oní-wafer Onírúurú tàbí Àpótí Wafer Oníkan ṣoṣo | ||||
Àwọn Àkíyèsí:
※ Ààlà àbùkù kan gbogbo ojú wafer àyàfi agbègbè ìyọkúrò etí. # Àwọn ìfọ́ náà yẹ kí a ṣàyẹ̀wò lórí ojú Si o
Wafer SiC iru 4H/6H-P 6-inch pẹlu ipele Zero MPD ati iṣelọpọ tabi ipele dummy ni a lo jakejado ninu awọn ohun elo itanna ti o ti ni ilọsiwaju. Agbara ooru ti o dara julọ, folti fifọ giga, ati resistance si awọn agbegbe lile jẹ ki o dara julọ fun awọn ẹrọ itanna agbara, gẹgẹbi awọn yipada folti giga ati awọn inverters. Ipele Zero MPD ṣe idaniloju awọn abawọn kekere, pataki fun awọn ẹrọ igbẹkẹle giga. Awọn wafers ipele iṣelọpọ ni a lo ninu iṣelọpọ iwọn nla ti awọn ẹrọ agbara ati awọn ohun elo RF, nibiti iṣẹ ṣiṣe ati deede ṣe pataki. Ni apa keji, awọn wafers ipele dummy ni a lo fun wiwọn ilana, idanwo ẹrọ, ati iṣafihan, ti o mu ki iṣakoso didara deede wa ni awọn agbegbe iṣelọpọ semiconductor.
Àwọn àǹfààní ti àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ SiC ti N-type ni
- Ìgbékalẹ̀ Ooru Gíga: Wafer 4H/6H-P SiC náà máa ń tú ooru kúrò dáadáa, èyí sì máa ń mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò itanna tó ní iwọ̀n otútù gíga àti agbára gíga.
- Fólíìgì Ìfọ́lẹ̀ Gíga: Agbára rẹ̀ láti mú àwọn fólíjìn gíga láìsí ìkùnà mú kí ó dára fún àwọn ohun èlò itanna agbára àti àwọn ohun èlò ìyípadà fólíjìn gíga.
- Ipele Odo MPD (Abajẹ Píìpù Micro)Àbùkù tó kéré jùlọ ń mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé àti iṣẹ́ rẹ̀ ga sí i, èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ itanna tó ń béèrè fún iṣẹ́.
- Ipele Iṣelọpọ fun Iṣelọpọ Ibigbogbo: O dara fun iṣelọpọ iwọn nla ti awọn ẹrọ semiconductor iṣẹ giga pẹlu awọn iṣedede didara to muna.
- Ipele Dídánwò fún Ìdánwò àti Ìwọ̀n-ẹ̀rọ: Ó ń mú kí iṣẹ́ àtúnṣe, ìdánwò ohun èlò, àti ìṣàfihàn iṣẹ́ náà ṣeé ṣe láìlo àwọn wafers onípele iṣẹ́-ṣíṣe tó ga.
Ni gbogbogbo, awọn wafer SiC 4H/6H-P 6-inch pẹlu ipele Zero MPD, ipele iṣelọpọ, ati ipele dummy pese awọn anfani pataki fun idagbasoke awọn ẹrọ itanna ti o ni iṣẹ giga. Awọn wafer wọnyi ṣe anfani pataki ni awọn ohun elo ti o nilo iṣẹ otutu giga, iwuwo agbara giga, ati iyipada agbara ti o munadoko. Ipele Zero MPD ṣe idaniloju awọn abawọn ti o kere ju fun iṣẹ ẹrọ ti o gbẹkẹle ati iduroṣinṣin, lakoko ti awọn wafer-team iṣelọpọ ṣe atilẹyin fun iṣelọpọ iwọn nla pẹlu awọn iṣakoso didara ti o muna. Awọn wafer-team-degree pese ojutu ti o munadoko fun imudarasi ilana ati wiwọn ẹrọ, ti o jẹ ki wọn ṣe pataki fun iṣelọpọ semiconductor ti o peye giga.
Àwòrán Àlàyé
