6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N iru fun MOS tabi Iwadi iṣelọpọ SBD ati ipele Dummy

6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N iru fun MOS tabi Iwadi iṣelọpọ SBD ati Dummy ite Aworan Ifihan

Apejuwe kukuru:

Ohun elo 6-inch silikoni carbide nikan sobusitireti jẹ ohun elo ti o ga julọ pẹlu awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti o dara julọ. Ti a ṣelọpọ lati awọn ohun elo gara ohun elo ohun alumọni carbide mimọ-giga, o ṣe afihan ifarapa igbona ti o ga julọ, iduroṣinṣin ẹrọ, ati resistance otutu otutu. Sobusitireti yii, ti a ṣe pẹlu awọn ilana iṣelọpọ deede ati awọn ohun elo ti o ni agbara giga, ti di ohun elo ti o fẹ julọ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna to gaju ni awọn aaye pupọ.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Alaye ọja

ọja Tags

Awọn aaye Ohun elo

Sobusitireti ohun alumọni carbide ẹyọkan 6-inch ṣe ipa pataki ni awọn ile-iṣẹ lọpọlọpọ. Ni akọkọ, o jẹ lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito fun iṣelọpọ ti awọn ẹrọ itanna ti o ni agbara giga gẹgẹbi awọn transistors agbara, awọn iyika iṣọpọ, ati awọn modulu agbara. Imudara igbona giga rẹ ati resistance iwọn otutu ti o ga julọ jẹ ki itọ ooru to dara julọ, ti o mu ilọsiwaju dara si ati igbẹkẹle. Ni ẹẹkeji, awọn wafers carbide silikoni jẹ pataki ni awọn aaye iwadii fun idagbasoke awọn ohun elo ati awọn ẹrọ tuntun. Ni afikun, ohun alumọni carbide wafer wa awọn ohun elo lọpọlọpọ ni aaye ti optoelectronics, pẹlu iṣelọpọ ti Awọn LED ati awọn diodes laser.

Awọn pato ọja

Sobusitireti kristali ohun alumọni carbide 6-inch naa ni iwọn ila opin ti awọn inṣi 6 (isunmọ 152.4 mm). Iwaju oju oju jẹ Ra <0.5 nm, ati sisanra jẹ 600 ± 25 μm. Sobusitireti le jẹ adani pẹlu boya N-Iru tabi P-Iru conductivity, da lori awọn ibeere alabara. Pẹlupẹlu, o ṣe afihan iduroṣinṣin ẹrọ iyasọtọ, ti o lagbara lati duro titẹ ati gbigbọn.

Iwọn opin		150± 2.0mm (6inch)
Sisanra		350 μm± 25μm
Iṣalaye		Lori ipo: <0001>±0.5°		Pa axis:4.0° si 1120±0.5°
Polytype		4H
Resistivity(Ω·cm)	4H-N	0.015 ~ 0.028 Ω·cm/0.015 ~ 0.025ohm · cm
	4/6H-SI	>1E5
Iṣalaye alapin akọkọ		{10-10}±5.0°
Gigun alapin akọkọ (mm)		47,5 mm ± 2,5 mm
Eti		Chamfer
TTV/ Teriba / Warp (um)		≤15 /≤40 /≤60
Iwaju AFM (Si-oju)		Polish Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
LTV		≤3μm(10mm*10mm)	≤5μm(10mm*10mm)		≤10μm(10mm*10mm)
TTV		≤5μm	≤10μm		≤15μm
Peeli osan / pits / dojuijako / ibajẹ / awọn abawọn / striations		Ko si	Ko si		Ko si
indents		Ko si	Ko si		Ko si

Sobusitireti ohun alumọni carbide ẹyọkan 6-inch jẹ ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga ti a lo lọpọlọpọ ni semikondokito, iwadii, awọn ile-iṣẹ andoptoelectronics. O funni ni itọsi igbona ti o dara julọ, iduroṣinṣin ẹrọ, ati resistance otutu otutu, ti o jẹ ki o yẹ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna ti o ni agbara giga ati iwadii ohun elo tuntun. A pese ọpọlọpọ awọn pato ati awọn aṣayan isọdi lati pade awọn ibeere alabara lọpọlọpọ.Kan si wa fun awọn alaye diẹ sii lori awọn wafers carbide siliki!