Iru Wafers SiC Silikoni Carbide 6inch 150mm 4H-N fun MOS tabi SBD Production Research ati Dummy grade

Iru Wafers SiC Silikoni Carbide 6inch 150mm 4H-N fun Iwadi Iṣelọpọ MOS tabi SBD ati Ipele Dummy Aworan ti a fihan

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ohun èlò ìpìlẹ̀ silicon carbide oníkan 6-inch jẹ́ ohun èlò tó ní agbára gíga pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ti ara àti kẹ́míkà tó tayọ. A ṣe é láti inú ohun èlò kristali silicon carbide oníkan tó ní ìmọ́tótó gíga, ó ní agbára ìdarí ooru tó ga jùlọ, ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ, àti agbára ìgbóná tó ga. Ohun èlò ìpìlẹ̀ yìí, tí a fi àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ àti àwọn ohun èlò tó ga jùlọ ṣe, ti di ohun èlò tí a fẹ́ràn jùlọ fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ itanna tó lágbára ní onírúurú ẹ̀ka.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Àwọn Ààyè Ìlò

Ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ silikoni carbide oníwọ̀n 6-inch yìí kó ipa pàtàkì nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé iṣẹ́. Àkọ́kọ́, a ń lò ó dáadáa nínú ilé iṣẹ́ semiconductor fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ itanna alágbára gíga bíi transistors power, àwọn iyika tí a ti so pọ̀, àti àwọn modulu power. Ìfaradà ooru gíga rẹ̀ àti ìdènà ooru gíga rẹ̀ mú kí ooru túká dáadáa, èyí sì ń yọrí sí ìṣiṣẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé tó dára sí i. Èkejì, àwọn wafer silikoni carbide ṣe pàtàkì nínú àwọn ẹ̀ka ìwádìí fún ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò àti ẹ̀rọ tuntun. Ní àfikún, wafer silikoni carbide rí àwọn ohun èlò tó gbòòrò nínú ẹ̀ka optoelectronics, títí kan ṣíṣe àwọn LED àti diode laser.

Àwọn Ìlànà Ọjà

Ìwọ̀n ìṣàlẹ̀ onírin kan ṣoṣo tí a fi silicon carbide sí ní inṣi 6 ní ìwọ̀n iwọ̀n 6 inches (tó tó 152.4 mm). Ìwọ̀n ojú ilẹ̀ náà jẹ́ Ra < 0.5 nm, ìfúnpọ̀ rẹ̀ sì jẹ́ 600 ± 25 μm. A lè ṣe àtúnṣe ìṣàlẹ̀ náà pẹ̀lú ìṣàfihàn irú N tàbí P, gẹ́gẹ́ bí àwọn oníbàárà ṣe fẹ́. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, ó ń fi ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tí ó tayọ hàn, tí ó lè fara da ìfúnpá àti ìgbọ̀nsẹ̀.

Iwọn opin		150±2.0mm(6inch)
Sisanra		350 μm±25μm
Ìtọ́sọ́nà		Lórí àsìkò: <0001>±0.5°		Ní ìsàlẹ̀ àyè: 4.0° sí 1120±0.5°
Irú onípele púpọ̀		4H
Agbara resistance (Ω·cm)	4H-N	0.015 ~ 0.028 Ω·cm/0.015 ~ 0.025ohm · cm
	4/6H-SI	>1E5
Ìtọ́sọ́nà pẹ̀tẹ́lẹ̀ àkọ́kọ́		{10-10}±5.0°
Gígùn pẹlẹbẹ àkọ́kọ́ (mm)		47.5 mm±2.5 mm
Igun eti		Kámúfárì
TTV/Tọpa/Wọpa (m)		≤15 /≤40 /≤60
Iwaju AFM (Oju-Si)		Pólándì Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
LTV		≤3μm(10mm*10mm)	≤5μm(10mm*10mm)		≤10μm(10mm*10mm)
TV		≤5μm	≤10μm		≤15μm
Pẹ́ẹ̀lì/àpáta/ìfọ́/àbàwọ́n/àbàwọ́n/ìfọ́		Kò sí	Kò sí		Kò sí
àwọn èédú		Kò sí	Kò sí		Kò sí

Ohun èlò ìṣiṣẹ́ gíga tí a fi silicon carbide sí ni èyí tí ó ní ìwọ̀n 6 inches, èyí tí a ń lò ní ilé iṣẹ́ semiconductor, ìwádìí àti optoelectronics. Ó ní agbára ìṣiṣẹ́ ooru tó dára, ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ, àti agbára ìgbóná tó ga, èyí tó mú kí ó dára fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ itanna tó lágbára àti ìwádìí ohun èlò tuntun. A ń pèsè onírúurú ìlànà àti àṣàyàn àtúnṣe láti bá onírúurú ìbéèrè àwọn oníbàárà mu.Kan si wa fun awọn alaye diẹ sii lori awọn wafers silikoni carbide!