8inch 200mm Silikoni Carbide SiC Wafers 4H-N Iru iṣelọpọ Ipele iṣelọpọ 500um sisanra

8inch 200mm Silikoni Carbide SiC Wafers 4H-N Iru iṣelọpọ Ipele 500um sisanra Aworan ti a fihan

Àpèjúwe Kúkúrú:

Shanghai Xinkehui Tech. Co., Ltd n pese yiyan ati idiyele ti o dara julọ fun awọn wafers silicon carbide didara giga ati awọn substrate ti o to iwọn ila opin 8inch pẹlu awọn iru N- ati semi-insulating. Awọn ile-iṣẹ ẹrọ semiconductor kekere ati nla ati awọn ile-iṣẹ iwadii kakiri agbaye nlo ati gbekele awọn wafers silicone carbide wa.

Fi imeeli ranṣẹ si wa

Àwọn ẹ̀yà ara

Ìlànà Ìsàlẹ̀ SiC 200mm 8inch

Iwọn: 8inch;

Ìwọ̀n ìbú: 200mm±0.2;

Sisanra: 500um±25;

Ìtọ́sọ́nà ojú ilẹ̀: 4 sí [11-20]±0.5°;

Ìtọ́sọ́nà ìpele:[1-100]±1°；

Ijinle iho: 1±0.25mm;

Pípù kékeré: <1cm2;

Àwọn Àwo Hex: Kò sí èyí tí a gbà láàyè;

Agbara resistance: 0.015~0.028Ω;

EPD: <8000cm2;

TED: <6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD: <1000cm2

SF: agbegbe <1%

TTV≤15um；

Ìwọ̀n ≤40um；

Bow≤25um；

Àwọn agbègbè Poly: ≤5%;

Àwọ̀: <5 àti Gígùn Àpapọ̀ < 1 Ìwọ̀n Wafer;

Àwọn ìṣù/Àwọn ìdè: Kò sí ẹni tó gbà D>0.5mm Fífẹ̀ àti Jíjìn;

Àwọn ìfọ́: Kò sí;

Àbàwọ́n: Kò sí

Eti Wafer: Chamfer;

Ipari oju: Meji ẹgbẹ Polish, Si Face CMP;

Àkójọpọ̀: Àwopọ̀ Oníṣẹ́-ọ̀pọ̀ tàbí Àpótí Wafer Kanṣoṣo;

Awọn iṣoro lọwọlọwọ ni igbaradi awọn kirisita 200mm 4H-SiC akọkọ

1) Ìpèsè àwọn kirisita irugbin 200mm 4H-SiC tó ga jùlọ;

2) Itoju iwọn otutu ti o tobi iwọn otutu ti ko ni ibamu ati iṣakoso ilana nucleation;

3) Ìgbésẹ̀ ìrìnnà àti ìdàgbàsókè àwọn èròjà gáàsì nínú àwọn ètò ìdàgbàsókè kírísítà tóbi sí i;

4) Ìfọ́ kirisita àti ìdàgbàsókè àbùkù tí ó wáyé nítorí ìdààmú ooru ńlá tó pọ̀ ń pọ̀ sí i.

Láti borí àwọn ìpèníjà wọ̀nyí àti láti gba àwọn wafers SiC 200mm tó ga, a dámọ̀ràn wọn:

Ní ti ìpèsè kirisita irugbin 200mm, a ṣe àyẹ̀wò pápá ìṣàn ooru tó yẹ, àti ìṣọ̀pọ̀ gbígbòòrò láti fiyèsí dídára kirisita àti ìwọ̀n fífẹ̀ sí i; bẹ̀rẹ̀ pẹ̀lú kirisita SiC 150mm, ṣe àtúnṣe kirisita irugbin láti fẹ̀ sí i díẹ̀díẹ̀ títí yóò fi dé 200mm; Nípasẹ̀ ìdàgbàsókè kirisita àti ìlànà púpọ̀, mú dídára kirisita náà sunwọ̀n sí i ní agbègbè fífẹ̀ kirisita náà, kí o sì mú dídára kirisita irugbin 200mm sunwọ̀n sí i.

Ní ti ìpèsè kirisita onídàgba 200mm àti ohun èlò ìṣàn omi, ìwádìí ti ṣe àtúnṣe ìwọ̀n otútù àti ìṣàn omi fún ìdàgbàsókè kirisita oníwọ̀n ńlá, ó ṣe ìdàgbàsókè kirisita SiC onídàgba 200mm, ó sì ń ṣàkóso ìṣọ̀kan doping. Lẹ́yìn ṣíṣe àti ṣíṣẹ̀dá kirisita náà, a rí ingot 4H-SiC onídàgba 8-inch pẹ̀lú ìwọ̀n ìlàjìn dọ́gba. Lẹ́yìn gígé, lílọ, dídán, àti ṣíṣe láti gba àwọn wafers SiC 200mm pẹ̀lú ìwọ̀n tó tó 525um tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ.