Ọgbà Ìdàgbàsókè Kírísítà Sápírẹ́lì KY Ọ̀nà Kyropoulos fún Ṣápírẹ́lì Ṣápírẹ́lì àti Ìṣẹ̀dá Fèrèsé Ojú
Ilana Iṣiṣẹ
Ìlànà pàtàkì ti ọ̀nà KY ni láti yọ́ àwọn ohun èlò aise Al₂O₃ tó mọ́ tónítóní nínú tungsten/molybdenum crucible ní 2050°C. A máa sọ kristali irugbin kalẹ̀ sínú yo, lẹ́yìn náà a ó yọ kúrò nínú rẹ̀ (0.5–10 mm/h) àti yíyípo (0.5–20 rpm) láti ṣe àṣeyọrí ìdàgbàsókè ìtọ́sọ́nà ti àwọn kirisita α-Al₂O₃ kan ṣoṣo. Àwọn ohun pàtàkì ni:
• Àwọn kirisita oníwọ̀n ńlá (tó pọ̀jù Φ400 mm × 500 mm)
• Safairi onípele opitika ti o ni wahala kekere (iyipada iwaju igbi <λ/8 @ 633 nm)
• Àwọn kirisita tí a ti fi doped ṣe (fún àpẹẹrẹ, Ti³⁰ doping fún safiri ìràwọ̀)
Àwọn Ẹ̀rọ Ètò Àkọ́kọ́
1. Eto Iyọ otutu giga
• Ohun èlò ìdàpọ̀ Tungsten-molybdenum (iwọ̀n otutu tó pọ̀jù 2300°C)
• Ohun èlò ìgbóná graphite oní-agbègbè púpọ̀ (±0.5°C ìṣàkóso ìwọ̀n otútù)
2. Ètò Ìdàgbàsókè Kírísítà
• Ẹ̀rọ fifa tí a fi servo ṣe (±0.01 mm ìṣedéédé)
• Èdìdì ìyípo omi oofa (ìlànà iyara aláìgbésẹ̀ 0–30 rpm)
3. Iṣakoso aaye ooru
• Iṣakoso iwọn otutu ti o ni ominira ni agbegbe marun-un (1800–2200°C)
• Ààbò ooru tí a lè ṣàtúnṣe (±2°C/cm gradient)
• Ètò ìgbàfẹ́ àti afẹ́fẹ́
• 10⁻⁴ Pa èéfín gíga
• Iṣakoso gaasi adalu Ar/N₂/H₂
4. Abojuto Ọlọgbọn
• Abojuto iwọn ila opin kirisita CCD gidi-akoko
• Ṣíṣàwárí ipele yolẹ pupọ
Ìfiwéra Ọ̀nà KY àti CZ
| Àwọn pàrámítà | Ọna KY | Ọna CZ |
| Ìwọ̀n Kírísítà Tó Pọ̀ Jùlọ | Φ400 mm | Φ200 mm |
| Oṣuwọn Idagbasoke | 5–15 mm/h | 20–50 mm/h |
| Ìwọ̀n Àbùkù | <100/cm² | 500–1000/cm² |
| Lilo Agbara | 80–120 kWh/kg | 50–80 kWh/kg |
| Awọn Ohun elo Aṣoju | Àwọn fèrèsé opitika/àwọn wáfárì ńláńlá | Àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀/ohun ọ̀ṣọ́ LED |
Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì
1. Àwọn fèrèsé ẹ̀rọ itanna
• Àwọn òrùka IR ológun (ìgbéjáde >85%@3–5 μm)
• Àwọn fèrèsé lésà UV (tó lè dúró ṣinṣin agbára tó 200 W/cm²)
2. Àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Semiconductor
• Àwọn ìṣẹ́po onípele GaN (2–8 inches, TTV <10 μm)
• Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ SOI (ìwọ̀n ojú ilẹ̀ <0.2 nm)
3. Àwọn Ẹ̀rọ Ìbánisọ̀rọ̀ Oníbàárà
• Gilasi ideri kamẹra foonuiyara (Ile lile Mohs 9)
• Àwọn ìfihàn smartwatch (ìlọsíwájú ìdènà ìfọ́ 10×)
4. Awọn ohun elo pataki
• Àwọn opitiki IR mímọ́ tó ga (ìwọ̀n ìfàmọ́ra <10⁻³ cm⁻¹)
• Àwọn fèrèsé ìṣàkíyèsí ohun ìjà amúlétutù (ìfaradà ìtànṣán: 10¹⁶ n/cm²)
Àwọn Àǹfààní ti Ohun èlò Ìdàgbàsókè Kírísítà Sapphire ti Kyropoulos (KY)
Ohun èlò ìdàgbàsókè kírísítà sapphire tí a fi ọ̀nà Kyropoulos (KY) ṣe ní àwọn àǹfààní ìmọ̀-ẹ̀rọ tí kò láfiwé, ó sì gbé e kalẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ojútùú tuntun fún iṣẹ́-ṣíṣe ní ilé-iṣẹ́. Àwọn àǹfààní pàtàkì ni:
1. Agbára Ìwọ̀n-Ńlá: Ó lágbára láti gbin àwọn kirisita sapphire tó tó 12 inches (300 mm) ní ìwọ̀n-ìwọ̀n, èyí tó ń mú kí iṣẹ́ àwọn wafers àti àwọn ohun èlò opitika máa gbilẹ̀ fún àwọn ohun èlò tó ti pẹ́ bíi GaN epitaxy àti àwọn fèrèsé ológun.
2. Ìwọ̀n Àbùkù Tó Kéré Jùlọ: Ó ń ṣàṣeyọrí ìwọ̀n ìyípadà <100/cm² nípasẹ̀ ìṣètò pápá ooru tó dára jùlọ àti ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tó péye, èyí tó ń rí i dájú pé ó jẹ́ kí ó dára fún àwọn ẹ̀rọ optoelectronic.
3. Iṣẹ́ Awòrán Dídára Gíga: Ó ń fúnni ní ìtajáde tó ju 85% lọ ní gbogbo ibi tí a lè rí i sí àwọn ìrísí infrared (400–5500 nm), èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn fèrèsé lésà UV àti àwọn ìrísí infrared.
4. Automation to ti ni ilọsiwaju: Awọn ẹya ẹrọ fifa-agbara ti a fi servo ṣe (±0.01 mm deede) ati awọn edidi iyipo omi oofa (0–30 rpm iṣakoso laisi igbese), dinku ilowosi eniyan ati mu iduroṣinṣin pọ si.
5. Àwọn Àṣàyàn Ìtọ́jú Ìtọ́jú Ìlera Tó Rọrùn: Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ṣíṣe àtúnṣe pẹ̀lú àwọn oògùn bíi Cr³⁰ (fún ruby) àti Ti³⁰ (fún sapphire ìràwọ̀), èyí tó ń pèsè àwọn ọjà tó dára jùlọ nínú optoelectronics àti ohun ọ̀ṣọ́.
6. Lilo Agbara: Idabobo ooru ti a ṣe atunṣe (tungsten-molybdenum crucible) dinku lilo agbara si 80–120 kWh/kg, ti o ba awọn ọna idagbasoke miiran mu.
7. Ìṣẹ̀dá tí a lè yípadà: Ó ń ṣe àṣeyọrí ìṣẹ̀dá oṣooṣù ti 5,000+ àwọn wafers pẹ̀lú àkókò yíyípo kíákíá (ọjọ́ 8–10 fún àwọn kirisita 30–40 kg), tí a fi àwọn ohun èlò ìfisílé kárí ayé tó lé ní 200 ti fọwọ́ sí.
o
8. Àìlágbára fún Ìpele Ológun: Ó ní àwọn àwòrán tí kò lè tànmọ́lẹ̀ àti àwọn ohun èlò tí kò lè gbóná (tó lè gbóná tó 10¹⁶ n/cm²), èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò afẹ́fẹ́ àti àwọn ohun èlò amúlétutù.
Àwọn ìṣẹ̀dá tuntun wọ̀nyí mú kí ọ̀nà KY lágbára sí i gẹ́gẹ́ bí ìwọ̀n wúrà fún ṣíṣe àwọn kirisita sapphire tó lágbára, tí ó ń mú kí àwọn ìlọsíwájú bá ìbánisọ̀rọ̀ 5G mu, ìṣiṣẹ́ kuatomu, àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ààbò.
Awọn iṣẹ XKH
XKH n pese awọn ojutu to peye fun awọn eto idagbasoke kristali sapphire, ti o pẹlu fifi sori ẹrọ, imudarasi ilana, ati ikẹkọ oṣiṣẹ lati rii daju pe iṣọpọ iṣẹ laisi wahala. A n pese awọn ilana idagbasoke ti a ti fọwọsi tẹlẹ (50+) ti a ṣe deede si awọn aini ile-iṣẹ oriṣiriṣi, ti o dinku akoko R&D fun awọn alabara ni pataki. Fun awọn ohun elo pataki, awọn iṣẹ idagbasoke aṣa n jẹ ki isọdi iho (Φ200–400 mm) ati awọn eto doping ti o ni ilọsiwaju (Cr/Ti/Ni), ni atilẹyin awọn paati opitika ti o ni iṣẹ giga ati awọn ohun elo ti o ni resistance si itankalẹ.
Àwọn iṣẹ́ tí a fi kún iye owó náà ní iṣẹ́ ìdàgbàsókè lẹ́yìn ìdàgbàsókè bíi gígé, lílọ, àti dídán, tí a fi ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ọjà sapphire bíi wafers, tubes, àti àwọn òfo òkúta ṣe àfikún. Àwọn ìfilọ́lẹ̀ wọ̀nyí ń bójútó àwọn ẹ̀ka láti ẹ̀rọ itanna oníbàárà sí afẹ́fẹ́. Àtìlẹ́yìn ìmọ̀ ẹ̀rọ wa ń ṣe ìdánilójú ìdánilójú oṣù 24 àti àyẹ̀wò jíjìnnà ní àkókò gidi, ní rírí dájú pé àkókò ìsinmi díẹ̀ àti pé iṣẹ́ ṣíṣe tí ó dúró pẹ́.
