Àwọn ohun èlò ìfìdíkalẹ̀ lésà semikondokito tí ń yí ìtẹ̀síwájú ingot padà
Àwòrán Àlàyé
Ifihan Ọja ti Semiconductor Ẹrọ Lift-Off Laser
Ohun èlò ìtọ́jú laser Semiconductor jẹ́ ohun èlò ìtọ́jú laser Lift-Off tó ṣe pàtàkì gan-an tí a ṣe fún títẹ̀ àwọn ingots semiconductor tí kò ní ìfọwọ́kàn pẹ̀lú ọ̀nà tí laser ń gbà mú jáde. Ètò ìtọ́jú yìí kó ipa pàtàkì nínú àwọn iṣẹ́ ìtọ́jú semiconductor òde òní, pàápàá jùlọ nínú ṣíṣe àwọn wafers tín-tín fún àwọn ẹ̀rọ itanna, LED, àti àwọn ẹ̀rọ RF tí ó ní agbára gíga. Nípa ṣíṣe ìyàsọ́tọ̀ àwọn ìpele tín-tín láti inú àwọn ingots tàbí àwọn substrates fúnni, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ń yí ìtẹ̀sí ingot padà nípa yíyọ àwọn ìgbésẹ̀ gígé, lílọ, àti fífi kẹ́míkà gé kúrò.
Ìtẹ̀síwájú àṣà ìbílẹ̀ ti àwọn ingots semiconductor, bíi gallium nitride (GaN), silicon carbide (SiC), àti sapphire, sábà máa ń gba iṣẹ́ púpọ̀, ó máa ń jẹ́ ìfọ́, ó sì máa ń fa ìfọ́ tàbí ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀. Ní ìyàtọ̀ sí èyí, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ní ọ̀nà mìíràn tí kò ní parun, tí ó sì máa ń dín ìpàdánù ohun èlò àti ìdààmú ojú ilẹ̀ kù nígbà tí ó ń mú kí iṣẹ́ náà pọ̀ sí i. Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún onírúurú ohun èlò kristali àti compound, a sì lè fi wọ́n sínú àwọn ìlà iṣẹ́ semiconductor iwájú tàbí àárín odò láìsí ìṣòro.
Pẹ̀lú àwọn ìgbìn lílà tí a lè ṣètò, àwọn ètò ìfojúsùn àdáṣe, àti àwọn ohun èlò ìfọṣọ tí ó bá ìgbámú mu, ohun èlò yìí dára gan-an fún gígé ingot, ṣíṣẹ̀dá lamella, àti yíyọ fíìmù tín-tín fún àwọn ẹ̀rọ inaro tàbí gbigbe ìpele heteroepitaxial.
Àwọn ohun èlò ìdìde laser semiconductor
| Gígùn ìgbì | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Fífẹ̀ Pulse | Nanosecond, Picosecond, Femtosecond |
| Ètò Ìṣípààrọ̀ | Ètò opitika tí a ti ṣe àtúnṣe tàbí ètò opitika Galvano |
| Ipele XY | 500 mm × 500 mm |
| Ibiti Iṣiṣẹ naa wa | 160 mm |
| Iyara Iṣipopada | Àṣejù 1,000 mm/sẹ́ẹ́kì |
| Àtúnṣe | ±1 μm tabi kere si |
| Ipese Ipo pipe: | ±5 μm tabi kere si |
| Ìwọ̀n Wafer | 2–6 inches tabi ti a ṣe adani |
| Iṣakoso | Windows 10, 11 àti PLC |
| Folti Ipese Agbara | AC 200 V ±20 V, Ìpele kan ṣoṣo, 50/60 kHz |
| Awọn Iwọn Ita | 2400 mm (W) × 1700 mm (D) × 2000 mm (H) |
| Ìwúwo | 1,000 kg |
Ìlànà Iṣẹ́ ti Semiconductor Ohun èlò Lift-Off Laser
Ìlànà pàtàkì ti Semiconductor Laser Lift-Off Equipment sinmi lórí ìbàjẹ́ tàbí ìfọ́mọ́ra photothermal tí a yàn ní ìsopọ̀ láàrín ingot fún olùfúnni àti epitaxial tàbí ìpele àfojúsùn. A máa ń lo laser UV alágbára gíga (tí ó sábà máa ń jẹ́ KrF ní 248 nm tàbí àwọn laser UV alágbára ní àyíká 355 nm) nípasẹ̀ ohun èlò olùfúnni tí ó hàn gbangba tàbí tí ó hàn gbangba, níbi tí a ti ń gba agbára náà ní ìwọ̀n jíjìn tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀.
Ìfàmọ́ra agbára tí a ń gbà ní agbègbè yìí ń ṣẹ̀dá ipele gaasi gíga tàbí ìfàmọ́ra ooru ní ojú ọ̀nà, èyí tí ó ń bẹ̀rẹ̀ ìfọ́mọ́ra mímọ́ ti wafer òkè tàbí ìpele ẹ̀rọ láti inú ìpìlẹ̀ ingot. A ṣe àtúnṣe ìlànà náà dáadáa nípa ṣíṣe àtúnṣe àwọn pàrámítà bíi ìwọ̀n pulse, fluence laser, speed scanning, àti z-axis focal depth. Àbájáde rẹ̀ ni pé ó jẹ́ gígé tín-tín—nígbà gbogbo ní 10 sí 50 µm—tí a yà sọ́tọ̀ kúrò nínú ingot òbí láìsí ìfọ́mọ́ra ẹ̀rọ.
Ọ̀nà yìí láti fi lésà gbé e kúrò fún títẹ̀ ingot yẹra fún pípadánù kerf àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ tí ó ní í ṣe pẹ̀lú gígé wáyà dáyámọ́ńdì tàbí fífi ẹ̀rọ ṣe é. Ó tún ń pa ìdúróṣinṣin kírísítà mọ́, ó sì ń dín àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe é kù, èyí tí ó sọ Semiconductor Laser Lift-Off Equipment di ohun èlò tí ó ń yí padà fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ wafer ìran tí ń bọ̀.
Awọn Lilo ti Semiconductor Laser Lift-Off Equipment
Ohun èlò ìdìde laser semiconductor rí i pé ó wúlò gan-an nínú ìtẹ̀sí ingot lórí onírúurú àwọn ohun èlò àti irú ẹ̀rọ tó ti pẹ́, títí bí:
-
GaN àti GaAs Ingot Thinning fún Àwọn Ẹ̀rọ Agbára
Ó ń mú kí ìṣẹ̀dá wafer tín-tín ṣiṣẹ́ fún àwọn transistors àti diode tí agbára wọn kò lágbára tó, tí ó sì ní agbára ìdènà díẹ̀.
-
Ìtúnṣe Àpò SíC àti Ìyàsọ́tọ̀ Lamella
Ó gba ààyè láti gbé ìpele wafer kúrò láti inú àwọn ohun èlò SiC onípele púpọ̀ fún àwọn ètò ẹ̀rọ inaro àti àtúnlo wafer.
-
Gígé Wafer LED
Ó ń mú kí àwọn ìpele GaN kúrò láti inú àwọn ingots sapphire tó nípọn láti ṣe àwọn ohun èlò LED tó tinrin gan-an.
-
Ṣíṣe Ẹ̀rọ RF àti Makirowefu
Ṣe atilẹyin fun awọn ẹya transistor elekitironi giga-tinrin (HEMT) ti a nilo ninu awọn eto 5G ati radar.
-
Gbigbe Layer Epitaxial
Ó yọ àwọn ìpele epitaxial kúrò lára àwọn ingots kristali fún àtúnlo tàbí ìṣọ̀kan sínú àwọn heterostructures.
-
Àwọn Sẹ́ẹ̀lì Oòrùn Tín-Fíìmù àti Àwọn Fọ́tòvoltaics
A lo lati ya awọn fẹlẹfẹlẹ fifa tinrin fun awọn sẹẹli oorun ti o rọ tabi ti o munadoko pupọ.
Nínú gbogbo àwọn agbègbè wọ̀nyí, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment n pese iṣakoso alailopin lori iṣọkan sisanra, didara oju ilẹ, ati iduroṣinṣin fẹlẹfẹlẹ.
Àwọn Àǹfààní ti Títọ́ Ingot Tí Ó Da Lésà
-
Pípàdánù Ohun Èlò Zero-Kerf
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìgé wafer ìbílẹ̀, ìlànà laser náà ń yọrí sí lílo ohun èlò tó fẹ́rẹ̀ẹ́ tó 100%.
-
Wahala ati Irẹwẹsi Ti o kere ju
Gbígbé tí kò bá fara kan ara mú kí ìgbóná ara má balẹ̀, ó sì dín ìṣẹ̀dá wafer àti microcrack kù.
-
Ìtọ́jú Dídára Dáradára Dáradára
Kò sí ìdí láti fi tàn tàbí kí a fi pò ó lẹ́yìn tí ó ti tàn díẹ̀díẹ̀ ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà, nítorí pé gbígbé lésà máa ń pa ojú ilẹ̀ mọ́.
-
Gíga Gíga àti Àdánidá Ṣetán
Ó lè ṣe àgbékalẹ̀ ọgọ́rọ̀ọ̀rún àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ fún ìyípadà kan pẹ̀lú ìgbékalẹ̀/ìgbékalẹ̀ aládàáṣe.
-
A le ṣe deede si ọpọlọpọ awọn ohun elo
Ni ibamu pẹlu GaN, SiC, sapphire, GaAs, ati awọn ohun elo III-V ti n yọ jade.
-
Ailewu Ayika
Ó dín lílo àwọn abrasives àti àwọn kẹ́míkà líle tí ó wọ́pọ̀ nínú àwọn ìlànà títẹ̀ tí a fi slurry ṣe kù.
-
Àtúnlò Sẹ́ẹ̀tì
A le tunlo awọn ingot oluranlowo fun ọpọlọpọ awọn iyipo gbigbe-kuro, eyiti o dinku awọn idiyele ohun elo pupọ.
Àwọn Ìbéèrè Tí A Ń Béèrè Lóòrèkóòrè (FAQ) ti Àwọn Ohun Èlò Ìgbéga Lésà Semiconductor
-
Q1: Iru iwọn sisanra wo ni Semiconductor Laser Lift-Off Equipment le ṣe fun awọn ege wafer?
A1:Isanra awọn ege ti o wọpọ wa lati 10 µm si 100 µm da lori ohun elo ati iṣeto rẹ.Q2: Ṣe a le lo ohun elo yii lati fi awọn ingot ti a fi awọn ohun elo ti ko ni oju bi SiC ṣe ṣe?
A2:Bẹ́ẹ̀ni. Nípa ṣíṣe àtúnṣe ìwọ̀n ìgbì lésà àti ṣíṣe àtúnṣe sí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ (fún àpẹẹrẹ, àwọn ìlẹ̀kẹ̀ ìrúbọ), àwọn ohun èlò tí kò ní ìrísí díẹ̀ ni a lè ṣe àtúnṣe wọn.Q3: Báwo ni a ṣe ṣe àtúnṣe substrate olùfúnni kí a tó gbé lésà kúrò?
A3:Ètò náà ń lo àwọn modulu ìṣàtúnṣe tí ó da lórí ìríran sub-micron pẹ̀lú àwọn èsì láti inú àwọn àmì ìgbẹ́kẹ̀lé àti àwọn àyẹ̀wò ìṣàfihàn ojú ilẹ̀.Q4: Kí ni àkókò ìyípo tí a retí fún iṣẹ́ ìgbékalẹ̀ lésà kan?
A4:Ní ìbámu pẹ̀lú ìwọ̀n àti sisanra wafer, àwọn ìyípo tí ó wọ́pọ̀ máa ń gba ìṣẹ́jú 2 sí 10.Q5: Ǹjẹ́ ìlànà náà nílò àyíká yàrá ìwẹ̀nùmọ́?
A5:Bó tilẹ̀ jẹ́ pé kì í ṣe dandan, a gbani nímọ̀ràn láti so mọ́ yàrá mímọ́ láti lè rí i dájú pé ohun èlò náà mọ́ tónítóní nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ dáadáa.
Nipa re
XKH jẹ́ amọ̀jọ̀gbọ́n nínú ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga, ìṣẹ̀dá, àti títà àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì optíkì pàtàkì àti àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ gíláàsì tuntun. Àwọn ọjà wa ń ṣiṣẹ́ fún ẹ̀rọ itanna optíkì, ẹ̀rọ itanna oníbàárà, àti àwọn ológun. A ń pèsè àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ Sapphire optíkì, àwọn ìbòrí lẹ́ǹsì fóònù alágbéká, àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ sémíkà, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, àti àwọn wafers crystal semiconductor. Pẹ̀lú ìmọ̀ tó ní ìmọ̀ àti àwọn ohun èlò tó ti pẹ́, a tayọ nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò tí kì í ṣe déédé, a ń gbìyànjú láti jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga tó ń lo ohun èlò optoelectronic.
