Fíìmù SiO2 Tínrin Gbòrò Oxide Silikoni Wafer 4inch 6inch 8inch 12inch

Ilana akọkọ ti iṣelọpọ awọn wafers silikoni oxidized nigbagbogbo ni awọn igbesẹ wọnyi: idagbasoke silikoni monocrystalline, gige si awọn wafers, didan, mimọ ati oxidation.

Ìdàgbàsókè sílíkọ́nì monocrystalline: Àkọ́kọ́, a máa ń gbin sílíkọ́nì monocrystalline ní ìwọ̀n otútù gíga nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà bíi ọ̀nà Czochralski tàbí ọ̀nà Float-zone. Ọ̀nà yìí ń jẹ́ kí a ṣe àwọn sílíkọ́nì silicon kan ṣoṣo pẹ̀lú ìwẹ̀nùmọ́ gíga àti ìdúróṣinṣin lattice.

Ìgé: Sílíkónì monocrystalline tí a gbìn sábà máa ń ní ìrísí cylindrical, ó sì nílò láti gé e sí àwọn wàrà tín-tín kí a lè lò ó gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìgé wàrà. A sábà máa ń fi ohun èlò ìgé dáyámọ́ǹdì gé e.

Ṣíṣe ìmọ́tótó: Ojú wafer tí a gé náà lè má dọ́gba, ó sì nílò ìmọ́tótó kẹ́míkà láti lè rí ojú rẹ̀ dán.

Ìmọ́tótó: A máa ń fọ wáfà tí a ti yọ́ mọ́ láti mú àwọn èérí àti eruku kúrò.

Ìmúdàgba Oxidizing: Níkẹyìn, a máa ń fi àwọn wafer silicon sínú iná mànàmáná tó ní iwọ̀n otútù gíga fún ìtọ́jú oxidizing láti ṣẹ̀dá ipele ààbò ti silicon dioxide láti mú kí àwọn ohun ìní iná mànàmáná àti agbára ẹ̀rọ rẹ̀ sunwọ̀n sí i, àti láti ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ipele ìdábòbò nínú àwọn iyika tí a ti so pọ̀.

Àwọn lílo pàtàkì ti àwọn wafer silicon tí a ti sọ di oxidized ni ṣíṣe àwọn iyika tí a ti so pọ̀, ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, àti ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ itanna mìíràn. Àwọn wafer silicon oxide ni a lò ní gbogbogbòò nínú iṣẹ́ àwọn ohun èlò semiconductor nítorí àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tí ó tayọ wọn, ìdúróṣinṣin ìwọ̀n àti kẹ́míkà, agbára láti ṣiṣẹ́ ní àwọn iwọ̀n otútù gíga àti àwọn ìfúnpá gíga, àti àwọn ànímọ́ ìdènà àti opitika tí ó dára.

Àwọn àǹfààní rẹ̀ ni ìṣètò kírísítà pípé, ìṣètò kẹ́míkà mímọ́, ìwọ̀n pàtó, àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tó dára, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mú kí àwọn wafers silicon oxide dára fún ṣíṣe àwọn iyika tí a ti so pọ̀ pẹ̀lú iṣẹ́ gíga àti àwọn ẹ̀rọ microelectronic mìíràn.