SiO2 Tinrin Fiimu Thermal Oxide Silicon wafer 4inch 6inch 8inch 12inch
Agbekale ti wafer apoti
Ilana akọkọ ti iṣelọpọ awọn ohun alumọni ohun alumọni nigbagbogbo pẹlu awọn igbesẹ wọnyi: idagba ohun alumọni monocrystalline, gige sinu wafers, didan, mimọ ati ifoyina.
Idagba silikoni Monocrystalline: Ni akọkọ, ohun alumọni monocrystalline ti dagba ni awọn iwọn otutu giga nipasẹ awọn ọna bii ọna Czochralski tabi ọna Float-zone.Ọna yii ngbanilaaye igbaradi ti awọn kirisita ẹyọkan silikoni pẹlu mimọ giga ati iduroṣinṣin latissi.
Dicing: Ohun alumọni monocrystalline ti o dagba nigbagbogbo wa ni apẹrẹ iyipo ati pe o nilo lati ge sinu awọn wafer tinrin lati ṣee lo bi sobusitireti wafer.Ige ti wa ni maa ṣe pẹlu kan Diamond ojuomi.
Didan: Ilẹ ti wafer ti a ge le jẹ aidọgba ati pe o nilo didan kemikali-ẹrọ lati gba oju didan.
Fifọ: Wafer didan ti wa ni mimọ lati yọ awọn aimọ ati eruku kuro.
Oxidizing: Lakotan, awọn wafer silikoni ni a fi sinu ileru iwọn otutu giga fun itọju oxidizing lati ṣe fẹlẹfẹlẹ aabo ti ohun alumọni silikoni lati mu ilọsiwaju awọn ohun-ini itanna rẹ ati agbara ẹrọ, ati lati ṣiṣẹ bi Layer insulating ni awọn iyika iṣọpọ.
Awọn lilo akọkọ ti awọn ohun alumọni ohun alumọni oxidized pẹlu iṣelọpọ awọn iyika iṣọpọ, iṣelọpọ awọn sẹẹli oorun, ati iṣelọpọ awọn ẹrọ itanna miiran.Awọn ohun elo afẹfẹ silikoni jẹ lilo pupọ ni aaye ti awọn ohun elo semikondokito nitori awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ, iwọn ati iduroṣinṣin kemikali, agbara lati ṣiṣẹ ni awọn iwọn otutu giga ati awọn igara giga, bakanna bi idabobo ti o dara ati awọn ohun-ini opiti.
Awọn anfani rẹ pẹlu ọna kika kirisita pipe, akopọ kemikali mimọ, awọn iwọn kongẹ, awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara, bbl Awọn ẹya wọnyi jẹ ki awọn wafers oxide silikoni dara julọ fun iṣelọpọ awọn iyika iṣọpọ iṣẹ-giga ati awọn ẹrọ microelectronic miiran.
Alaye aworan atọka
