LT Lithium Tantalate (LiTaO3) Crystal 2inch/3inch/4inch/6寸inch Orientaiton Y-42°/36°/108° Sisanra 250-500um
Awọn eto imọ-ẹrọ
| Orúkọ | LiTaO3-ìpele opitika | Ipele tabili ohun LiTaO3 |
| Àsíkà | Gígé Z + / - 0.2 ° | Gé 36 ° Y / Gé 42 ° Y / Gé X(+ / - 0.2 °) |
| Iwọn opin | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
| Pẹpẹ Dátúmù | 22mm + / - 2mm | 22mm +/-2mm32mm + /-2mm |
| Sisanra | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
| TV | ≤ 10um | ≤ 10um |
| Iwọn otutu Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (Ọ̀nà DTA) | 605 °C + / -3 °C (Ọ̀nà DTA |
| Dídára ojú ilẹ̀ | Ṣíṣe ìfọṣọ ẹ̀gbẹ́ méjì | Ṣíṣe ìfọṣọ ẹ̀gbẹ́ méjì |
| Àwọn ẹ̀gbẹ́ Chamfered | ìyípo etí | ìyípo etí |
Àwọn Ànímọ́ Pàtàkì
1. Ìṣètò Kírísítà àti Iṣẹ́ Ìmọ́lẹ̀
· Ìdúróṣinṣin kirisitalografiki: 100% 4H-SiC polytype dominance, ò sí àwọn ìfikún multicrystalline (fún àpẹẹrẹ, 6H/15R), pẹ̀lú ìlà XRD rocking rocking full-width ní ààbọ̀-maximum (FWHM) ≤32.7 arcsec.
· Ìrìn-àjò Gíga: Ìrìn-àjò elekitironi ti 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) ati ìrìn-àjò ihò ti 380 cm²/V·s, èyí tí ó mú kí àwọn ẹ̀rọ ìgbàlódé gíga ṣeé ṣe.
· Líle Ìtànṣán: Ó dúró ṣinṣin ìtànṣán neutron 1 MeV pẹ̀lú ààlà ìbàjẹ́ ìyípadà ti 1×10¹⁵ n/cm², ó dára fún àwọn ohun èlò afẹ́fẹ́ àti àwọn ohun èlò amúlétutù.
2.Awọn Ohun-ini Gbona ati Mechanical
· Ìgbékalẹ̀ ooru tó yàtọ̀: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), ìlọ́po mẹ́ta ti silikoni, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ tó ga ju 200°C lọ.
· Ìfàsẹ́yìn ooru kékeré: CTE ti 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), ó ń rí i dájú pé ó bá àpò tí a fi silicon ṣe mu, ó sì ń dín wahala ooru kù.
3. Iṣakoso Àìpé àti Ìtọ́jú Pípé
o
· Ìwọ̀n Pípù Mọ́kírọ́kírọ́: <0.3 cm⁻² (àwọn wáfárì 8-inch), ìwọ̀n ìyípadà <1,000 cm⁻² (tí a fi KOH ṣe ìwádìí rẹ̀).
· Dídára ojú ilẹ̀: CMP-dán mọ́lẹ̀ sí Ra <0.2 nm, ó sì bá àwọn ohun tí EUV béèrè fún ní ìpele ìpele lithography mu.
Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì
| Àgbègbè | Awọn oju iṣẹlẹ Ohun elo | Awọn anfani imọ-ẹrọ |
| Awọn ibaraẹnisọrọ oju | Àwọn lésà 100G/400G, àwọn módù àdàpọ̀ silicon photonics | Àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ irugbin InP ń mú kí bandgap tààrà (1.34 eV) àti heteroepitaxy tí a fi Si ṣe ṣiṣẹ́, èyí tí ó ń dín àdánù ìsopọ̀ optical kù. |
| Awọn ọkọ ayọkẹlẹ agbara tuntun | Àwọn ẹ̀rọ amúlétutù folti gíga 800V, àwọn ẹ̀rọ amúlétutù inú ọkọ̀ (OBC) | Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ 4H-SiC dúró ṣinṣin ju 1,200 V lọ, èyí tí ó dín àdánù ìdarí kù ní 50% àti ìwọ̀n ètò náà ní 40%. |
| Awọn ibaraẹnisọrọ 5G | Àwọn ẹ̀rọ RF oní-millimeter-igbi (PA/LNA), àwọn amplifiers agbára ibùdó ìpìlẹ̀ | Àwọn ohun èlò SiC tí ó ní ìdábùú díẹ̀ (resistvivity >10⁵ Ω·cm) ń jẹ́ kí ìṣọ̀kan onígbà púpọ̀ (60 GHz+) ṣeé ṣe. |
| Ẹrọ Ile-iṣẹ | Àwọn sensọ̀ iwọn otutu gíga, àwọn àyípadà ìsinsìnyí, àwọn àwòjìji reactor àgbáyé | Àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ InSb (ìwọ̀n bandgap 0.17 eV) ń fúnni ní ìmọ̀lára oofa tó tó 300%@10 T. |
Àwọn Wafer LiTaO₃ - Àwọn Ànímọ́ Pàtàkì
1. Iṣẹ́ Piezoelectric Tó Ga Jùlọ
· Àwọn iye piezoelectric gíga (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) mú kí àwọn ẹ̀rọ SAW/BAW onígbà púpọ̀ pẹ̀lú pípadánù ìfisí <1.5dB fún àwọn àlẹ̀mọ́ RF 5G
· Ìsopọ̀ electromechanical tó dára jùlọ ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn àlẹ̀mọ́ àlẹ̀mọ́ tó gbòòrò (≥5%) fún àwọn ohun èlò sub-6GHz àti mmWave
2. Àwọn Ohun Èlò Ojú
· Ìfihàn ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ (>70% ìfiranṣẹ́ láti 400-5000nm) fún àwọn olùmúdánwò electro-optic tí wọ́n ń ṣe àṣeyọrí bandwidth >40GHz
· Agbara opitika ti ko ni ila ti o lagbara (χ⁽²⁾~30pm/V) n mu ki iran harmonic keji (SHG) munadoko ninu awọn eto lesa
3. Ìdúróṣinṣin Àyíká
· Iwọn otutu Curie giga (600°C) n ṣetọju idahun piezoelectric ni awọn agbegbe ọkọ ayọkẹlẹ (-40°C si 150°C)
· Ailera kemikali lodi si awọn acids/alkalies (pH1-13) ṣe idaniloju igbẹkẹle ninu awọn ohun elo sensọ ile-iṣẹ
4. Àwọn Agbára Ṣíṣe Àtúnṣe
· Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́sọ́nà: X-ge (51°), Y-ge (0°), Z-ge (36°) fún àwọn ìdáhùn piezoelectric tí a ṣe àdáni
· Àwọn àṣàyàn ìfúnni oògùn: Mg-doped (ìdènà ìbàjẹ́ ojú), Zn-doped (d₃₃ tí a mú sunwọ̀n síi)
· Àwọn ìparí ojú ilẹ̀: Ìmúdàgba tí a ti ṣetán láti múra sílẹ̀ fún Epitaxial (Ra<0.5nm), ìṣẹ̀dá irin ITO/Au
Àwọn Wafer LiTaO₃ - Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì
1. Awọn Modulu Iwaju-Ipari RF
· Àwọn àlẹ̀mọ́ 5G NR SAW (Ẹgbẹ́ n77/n79) pẹ̀lú ìwọ̀n otútù ti ìgbóná (TCF) <|-15ppm/°C|
· Àwọn ohun amúsọ̀rọ̀ BAW tó gbòòrò fún WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Àwọn fọ́tòníkì tí a ṣepọ
· Àwọn modulators Mach-Zehnder oníyàrá gíga (>100Gbps) fún ìbánisọ̀rọ̀ opitika tó sopọ̀ mọ́ra
· Àwọn ohun èlò ìwádìí infrared QWIP pẹ̀lú àwọn ìgbì gígùn tí a lè yí padà láti 3-14μm
3. Àwọn Ẹ̀rọ Ìmọ́tò Ọkọ̀
· Awọn sensọ ibi ipamọ Ultrasonic pẹlu igbohunsafẹfẹ iṣiṣẹ ti o ju 200kHz lọ
· Àwọn ẹ̀rọ transducers TPMS piezoelectric tí ó yege -40°C sí 125°C lílọ kiri ooru
4. Àwọn Ètò Ààbò
· Àwọn àlẹ̀mọ́ olugba EW pẹ̀lú ìkọ̀sílẹ̀ tí kò ní ìjákulẹ̀ tó ju 60dB lọ
· Àwọn fèrèsé IR olùwá missile tí ń gbé ìtànṣán MWIR 3-5μm jáde
5. Àwọn Ìmọ̀-ẹ̀rọ Tó Ń Kún Jùlọ
· Awọn ẹrọ iyipada kuatomu oju fun iyipada makirowefu si oju
· Àwọn ètò PMUT fún àwòrán oníṣègùn (>20MHz resolution)
Àwọn Wafer LiTaO₃ - Àwọn Iṣẹ́ XKH
1. Ìṣàkóso Ẹ̀wọ̀n Ipèsè
· Iṣẹ́ àgbékalẹ̀ Boule-to-wafer pẹ̀lú àkókò ìdarí ọ̀sẹ̀ mẹ́rin fún àwọn ìlànà ìpele tó wọ́pọ̀
· Iṣẹ́jade ti a ṣe iṣapeye fun iye owo ti n pese anfani idiyele 10-15% ni akawe pẹlu awọn oludije
2. Awọn Ojutu Aṣa
· Ìwọ̀n ìfàmọ́ra pàtó fún ìtọ́sọ́nà: 36°±0.5° Y-ge fún iṣẹ́ SAW tó dára jùlọ
· Àwọn àkópọ̀ ìtọ́jú tí a ti tọ́jú: MgO (5mol%) ìtọ́jú ìtọ́jú ìlera fún àwọn ohun èlò ìtọ́jú ojú
Awọn iṣẹ iṣipopada irin: Ṣiṣe ilana elekitirodu Cr/Au (100/1000Å)
3. Atilẹyin imọ-ẹrọ
· Àpèjúwe ohun èlò: Àwọn ìlà ìró XRD (FWHM<0.01°), ìṣàyẹ̀wò ojú AFM
· Ṣíṣe àwòṣe ẹ̀rọ: Ṣíṣe àwòṣe FEM fún ṣíṣe àwòṣe àlẹ̀mọ́ SAW
Ìparí
Àwọn wafers LiTaO₃ ń tẹ̀síwájú láti mú kí ìlọsíwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ tàn káàkiri ìbánisọ̀rọ̀ RF, àwọn photonics tí a ti ṣepọ, àti àwọn sensọ ayika líle. Ìmọ̀ nípa ohun èlò XKH, ìṣelọ́pọ́ ìṣelọ́pọ́, àti ìrànlọ́wọ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ohun èlò ń ran àwọn oníbàárà lọ́wọ́ láti borí àwọn ìpèníjà ìṣètò nínú àwọn ẹ̀rọ itanna ìran tí ń bọ̀.









